芝浦メカトロニクス

横浜市栄区,  神奈川県 
Japan
http://www.shibaura.co.jp
  • 小間番号4034


芝浦メカトロニクスグループの新しい技術をご覧いただきたく、ご来場をお待ち申し上げております。

芝浦メカトロニクス(株)は、長年培ってきたコア技術(精密メカトロニクス、洗浄、成膜、エッチング、真空、貼り合せなど)を結集して、半導体、電子部品、フラットパネルディスプレイ、光学薄膜などの用途向けに製造装置の開発からサービスまでトータルソリューションを提供しています。

また、芝浦エレテック(株)は「ソリューションを提供する総合サービス会社」として様々な協力会社様と連携し、ワンストップサービスを提供しています。


 出展製品

  • 枚葉ウェットエッチング/洗浄装置 SC Series
    先端分野、メモリー、ウェーハ向け、高生産を実現できる装置です。...

  • ①枚葉式リン酸エッチング装置(SC300-HT8)

     ・高温薬液に対応した8スピン装置

    ②メモリー向け枚葉式洗浄・エッチング装置(SC310)

     ・高生産性を追求した洗浄装置

    ③ウェーハ向け枚葉式洗浄・エッチング装置(SC200/300)

     ・研磨機とのドッキングできるフレキシブルな装置

  • フォトマスクエッチング装置 ARES Series
    EUV, APSM, MoSiバイナリー, HM-PSM, NILに対応してます。...

  • ≪特長≫

    ①高均一エッチング

    ②BKM提案

    ③ディフェクトフリー

  • FO-PLP用フリップチップボンダ TFC-9300
    大型基板対応用FO-PLPの量産に最適な装置です。...

  • ≪特長≫

    ①大型基板対応

     630mm☓650mm

    ②高精度

     Bg精度:3±μm *1)

    ③高生産性

     over 10,000 UPH *1)

    ※1)弊社条件での数値となります。設定条件により数値は変動いたします。

  • EMIシールド用スパッタリング装置 CCS Series
    EMIシールドを低温で成膜できる装置です。...

  • ≪特長≫

    ①低温成膜

     < 60 ℃

    ②高生産性

     > 12,000 UPH

    ③膜厚均一性

     < ±1%


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor