シンフォニアテクノロジー

港区,  東京都 
Japan
http://www.sinfo-t.jp
  • 小間番号4819


最先端プロセスとレガシープロセスの2極化を支える搬送システムソリューションを提供

搬送システムソリューションの提供をテーマに、真空プラットフォーム、N2 EFEM、真空リニア搬送装置、次世代ロードポート「SELOP-8」等の最先端プロセスを支える搬送機器をご紹介いたします。また、ⅠoT化が進み需要が高まっている200/ 150mmのFFC、フープリング、ウェーハのカセットに対応した「マルチカセット対応ロードポート」、300/200mm自動切り換え機能を搭載した「SELOP-7」等のレガシープロセスに対応した豊富なロードポートのラインナップをご紹介いたします。


 出展製品

  • N2 EFEM
    高効率な低酸素濃度の制御をミニエンバイロメント内で実現...

  • 大気からN2へ高効率な置換を実現
     高効率な低酸素濃度の制御をミニエンバイロメント内で実現
     100ppm以下の酸素濃度を100LPM以下のN2ガス消費量で維持するN2ガス循環システムを採用

    微差圧の自動制御
     10Paゲージ+/- 3.5

    従来型EFEMと同スペースに設置可能
     従来のEFEMと変わらないフットプリントで既存標準EFEMとの置き換えが可能
     据え置き型アームロボットにより、最大4LPにアクセス
     従来型EFEM同様、側面にメンテナンス窓を用意(追加オプションにより、サイドポジションの使用が可能)

    EFEM内部環境・分析モニタ
     デジタルアナライザを使用したモニタリングが可能

    安全操作
     N2ガスを安全にAirに交換  ※S2、S8、CE準拠

  • 200/150mm マルチカセット対応ロードポート
    FFC・フープリング・ウェーハの各種カセット運用を可能に!! 1台で200mmと150mmの様々なカセットに対応!! ...

  • アダプタを交換することによって、
     200mmと150mmの各種カセットに対応可能(マッピング対応)

    ソフトを共通化し、センサーによって各種カセットを識別する自動識別機能を搭載

    300mm FOUP用ロードポートと置換が可能
  • 300㎜FOUP対応ロードポート SEKOP-8
    さらなる微細化をサポートする次世代ロードポート ...

  • 独自機構の採用でよりスムーズなFOUPドア開閉を実現

    エアー/電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、
     パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。

    最新の高気密性FOUPにも対応。

    MCBF1,000,000サイクル達成
  • 300/200mm 自動切り換え機能搭載ロードポート SELOP-7
    300mmウェーハ対応ロードポートがオープンカセットアダプタを載せるだけで200mmウェーハ対応ロードポートとして使用可能なので、300mmと200mmの混在ラインに最適!! ...

  • 200/300mm両対応のマッパーを採用

    ウェーハ飛出し防止機構を採用

    ウェーハ搬送中はアダプタドアが開かない安全ロック機構を採用

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor