清和光学製作所

中野区弥生町,  東京都 
Japan
http://www.seiwaopt.co.jp
  • 小間番号5638

(株)清和光学製作所は、半導体及びMEMS製造における各工程に対して、光学系のプロとして多彩なソリューションを提供する事ができます。例えば前工程のリソグラフィー関連の露光装置や、パターニング後の表裏アライメント検査、または近赤外を使用した接合界面の非破壊検査やレーザーによる不良品リペアなど多種多様です。さらにテスト用の手動機から、インラインのフルオート機と工場側システムとの通信なども対応可能です。

今現在お困りの事案や、今後に対する不安やご要望などについて、是非弊社にご相談下さい。54年の歴史で培った技術と経験で、お客様をバックアップさせて頂きます。


 出展製品

  • 両面パターンズレ検査装置
    ウェハの表裏面にパターンのアライメント精度を検査する装置です。表裏だけではなく、貼り合わせ面のアライメント精度も近赤外にて非破壊検査も対応できます。...

  • 対応ウェハ:Φ12インチ(MAX)

    測定再現性:0.2 μm/3σ

    スループット:100 pcs/h

    保存データ形式:CSVファイル

    ※貼り合わせウェハの接合面測定も可能です。

  • マスクアライナー
    小型一括露光装置です。プロキシミティー方式のため、マスクを汚さず露光が出来ます。また裏面アライメント後の露光も対応可能です。...

  • ウェハサイズ:Φ12インチ(MAX)

    露光解像度:5 μm(プロキシミティーGap=20μm時)

          1 μm(真空密着露光時)

    アライメント精度:±1μm

    ※フル手動機から全自動機まで対応可能です。ご相談下さい。

  • マイクロ-LED検査&リペアー
    マイクロ-LED/MINI-LED全チップ検査 輝点リペアー及び再マウント...

  • マイクロLEDやミニLEDについて、全チップ検査や輝点リペアーと再マウントが可能です。
  • Laserボンディング装置
    FlexibleディスプレイのACFをFlexibleフィルムへレーザー圧着 狭ベゼル対応...

  • FlexibleディスプレイのACFをFlexibleフィルムへレーザー圧着 狭ベゼル対応
  • マイクロLED露光装置
    マイクロ-LEDチップを独自投影光学系で、最小解像度2umのパターニングを行います。...

  • マイクロ-LEDチップを独自投影光学系で、最小解像度2umのパターニングを行います。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor
上記以外の分野/Other categories
液晶/FPD