山梨技術工房

南アルプス市,  山梨県 
Japan
  • 小間番号3812

各種ウェーハに対応可能な、卓上型ノンパターンウェーハ表面検査装置を実機展示致します。ブースにて実機を是非ご覧ください。

山梨技術工房はレーザ散乱方式でノンパターンウェーハ及びガラス基板表面のパーティクルやスクラッチを測定する、ウェーハ表面検査装置YPIシリーズの製造・販売を行っております。

(実機展示)

今回の展示会は、コンパクト設計の卓上型YPI-MNを実機展示致します。YPI-MNは、200mmまでのウェーハやガラス基板の表面パーティクルが測定可能なマニュアル搬送タイプのウェーハ表面検査装置です。

本体はフットプリント約600x600mmのコンパクト設計になっており、洗浄装置の横や、ラボの小さいスペースにも置く事ができます。検出感度は0.15μmBare-Si)を実現しており、お客様のパーティクル管理や測定要望に十分対応できる装置になっています。

今回展示装置は、最高検出感度はそのままで、従来比約倍の検査スピードを実現した高位バージョンのYPI-MNを展示致します。

この機会に是非弊社ブースにお立ち寄り頂き、高位バージョンYPI-MNを確認頂きたいと思います。

(パネル展示)

SiCGaN基板用表面検査装置YPI-MX-DC

SiCウェーハを用いたパワーデバイス製造プロセスモニタリング、洗浄確認、及びSiC表面研磨工程を管理されているお客様からご好評を頂いている装置です。

光源に355nmレーザを搭載し、独自技術である表裏分離測定機能にて、透明系基板の裏面情報を除いた、基板表面のみのパーティクルや微小スクラッチの検出が可能です。最高検出感度はSiCウェーハで0.100μmを達成しています。

 

ウェーハ表面検査装置YPI-MX-θ/XY

ウェーハや透明ウェーハのデバイス量産工場でのプロセスモニタリングに最適です。複数サイズのウェーハも自動搬送対応可能です。

 

画像外観検査方式ウェーハ表面検査装置YPI-WF

ウェーハ表面の異物を画像処理で検査できます。検出画像を確認したいお客様に最適です。

 

また弊社はパーティクル検査カテゴリでミニマルファブに参加しており、ミニマルファブブースに実機を展示しております。