大成技研

足立区,  東京都 
Japan
http://www.taiseigiken.com
  • 小間番号5831

高機能マグネットファイバーエレメントを三次元成型したエレメントを開発し、微粒子や微液体を吸着するトラップです。

“トラパック”とは、主に半導体・液晶製造装置・真空装置(イオン注入・CVD・エッチング等々)から排気されるガス反応性生物(微粉体)を除去する装置です。

特にイオン注入やCVD・エッチング装置から排出される1μm以下の反応生成物をうず流旋回吸着と高機能マグネットエレメントによりシャットアウトします。

本装置はエレメントの圧力損失がほとんどなく、真空ポンプの前段と後段の両方に使え、既存のフィルターでは除去できない微粉体をたやすく処理する画期的な粉体トラップです。大幅なメンテナンスの工数削減と生産性の向上が約束されます。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor