ダルトン

中央区,  東京都 
Japan
http://www.dalton.co.jp
  • 小間番号4335


I system-exhibition-do newly developed equipment.

今回のセミコンでは高圧ジェット式 全自動リフトオフとスピンエッチング装置の実機展示を行います。技術的な相談及びテストの相談も承りますので、お気軽にお声がけ下さい。

また、陽極酸化装置、バッチ式エッチング装置、バッチ式有機剥離洗浄装置、冶具洗浄装置、乾燥装置など、幅広い装置ラインナップを揃えております。

皆様の御来場をお待ちしております。


 出展製品

  • 高圧ジェット式 自動リフトオフ装置
    長年培われた経験を活かし、割れやすいウェハや剥離しにくいウェハなどウェハに合わせた装置提案が出来ます。...

  • 展示機では、ダミーウェハによる自動処理を行いますので、装置に関して疑問や質問が御座いましたら、その場で説明させて頂きます。
    またダルトン独自オプションのSuffix system、DoM Jet System、ISF system等も説明致します。
     
  • スピンエッチング装置
    スピンジェット装置を新た製品化し、テスト機も導入しました。 展示機はセミコン展示会終了後にテスト機として使用しますので、テストにご興味が御座いましたら、お気軽にご相談下さい。 酸エッチング、スクラブ洗浄のどちらでもテスト可能です。...

  • テスト対応ワークサイズ:φ2~8インチ 角型基板等の特殊サイズも対応化

    温調機能:なし

    薬液ノズル:2ヘッド(うち1ヘッドは、2液混合ノズル)

    エアーブロー:付き

    チャック構造:ピンチャック

 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor