レーザーテック

横浜市港北区,  神奈川県 
Japan
https://www.lasertec.co.jp
  • 小間番号5235


レーザーテックは最先端の半導体製造プロセスに不可欠な高精度の検査・測定装置をご提供しています。

主力のマスク・マスクブランクス欠陥検査装置の新製品や、EUVL関連検査装置およびウェハエッジ検査装置、SiC/GaNウェハ欠陥検査装置などをご紹介します。またハイブリッド・レーザーマイクロスコープのデモを行います。

検査・計測に関する新規案件も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。


 出展製品

  • マスク欠陥検査装置 MATRICS X8ULTRAシリーズ
    デザインノード7nm/5nmに対応可能なEUVマスク用の半導体マスク検査装置...

  •  用途

    • ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質確認検査
    • EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査
  • EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 ABICS E120
    EUVマスクブランクス上の転写性位相欠陥の検出および欠陥管理 (日刊工業新聞社 2017年十大新製品賞 日本力賞受賞)...

  •  用途

    • EUVマスクブランクス(Mo/Si多層膜)の検査
    • EUVマスクブランクスの欠陥解析
    • 欠陥の高精度位置検出
  • SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA88
    表面検査およびフォトルミネッセンス(PL)検査の両方を備えた検査装置...

  •  用途

    • SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査
    • SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
    • SiC研磨プロセスの管理
    • SiCデバイス製造プロセスの管理
  • レーザー顕微鏡 OPTELICS HYBRID
    6つの機能を1台で 高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅...

  • 用途

    各種材料の観察及び形状測定:
    半導体材料&デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、
    無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor