日本エリコンバルザース

平塚市,  神奈川県 
Japan
https://www.oerlikon.com/balzers/jp/ja/
  • 小間番号2135


半導体デバイスの更なる微細化に伴う、半導体製造技術をサポートします。

半導体デバイス製造はEUV露光機の登場などにより更なる微細化に向かい、半導体製造装置に求められるクリーンレベルもより一層厳しいものとなり、それを実現する技術が必要になってきました。  弊社の半導体向けBALINITコーティングは、半導体製造の更なる微細化をサポートします。

出展の見どころ

1.弊社のBALINIT HALONA PVD コーティングは、その課題を解決する為の重要なカギを持つ技術の一つと考えられ、半導体 プロセス中で強い腐食ガス・プラズマにさらされるプロセスキットを守り、パーティクル、メタルコンタミネーションを抑制する実用化技術として提案します。

2.BALINIT® DYLYNは、半導体製造装置の摩擦部分から発生するパーティクル発塵を抑え、帯電防止膜としても利用可能なコーティングは、PVD、CVD、ALDに応用され、そのアプリケーションが拡大しています。

3.BALINIT® CNIは、洗浄時の腐食対策に応用されます。


 出展製品

  • BALYNIT DYLYN
    BALINIT® DYLYNは、ダイアモンド・ライク・ナノコン ポジット(DLN)の構造により技術改良されたコーティング プラットフォームの1つ。...

  • 典型的なDLCコーティングを超える顕著な優位性を提供し、低摩擦係数から、電気導電性まで、フロントエンドとバックエンドプロセス向けのアプリケーションに最適です。
  • BALINIT HALONA
    BALINIT® HALONAコーティングシリーズは、プラズマエッチングなど過酷な条件のプロセス用に設計。...

  • プラズマ雰囲気中で腐食ガスとイオンの衝撃に耐えうるコーティングで、耐摩耗性や光透過性の特性がある。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor