東京計装

港区,  東京都 
Japan
http://www.tokyokeiso.co.jp
  • 小間番号5019


半導体製造プロセス・ユーティリティ用の各種流量計測機器をご紹介致します。

 弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計から省エネ・設備効率化のためのユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測機器をご紹介します。
 


 出展製品

  • 流量コントローラ CLFC300
    半導体製造プロセスのおけるCMPスラリー、薬液、超純水等の流量制御に最適...

  • ・超音波流量センサ、コントロールバルブ、流量演算、バルブ制御回路部を一体化

    ・接液部はPFAまたはPTFE、ハウジング材質にはPVDFを採用した高耐食仕様

    ・優れた耐気泡性能と制御機能

  • 一体形超音波流量センサ
    半導体製造プロセスにおける超純水、各種薬液等の流量計測に最適...

  • ・PFA製 流量測定部はストレートパイプ構造で、低圧力損失

    ・コンパクト設計で装置組み込みに最適

    ・優れた耐気泡性能


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor