ローツェ

福山市,  広島県 
Japan
http://www.rorze.com
  • 小間番号5507


通常の半導体自動化装置に加え、ファンアウトパネル搬送装置、距離センサ―等を展示致します、ローツェブースにお越しください。

ローツェ株式会社は自動化・モーションコントロールのベース部分となる、モータドライバ・コントローラから、ロボット、ロードポート(LP)、アライナ等の自動化単体モジュール、それらを使用したEFEM、ウエハソータ、真空プラットフォーム等の装置に加え、工場HOSTとの通信含めた全てのソフトウェアまで、グループ企業内で全て開発・製造している垂直統合メーカです。 

これまで創業以来30余年の間半導体製造装置メーカ殿向けに提供し続けてきたソリューションだけでなく、近年はエンドユーザ殿向けのウエハソータ、ベアウェハストッカ、パージ(N2,XCDA)対応ウェハストッカ、ALP(FOUP移載補助装置)等のFAB向けの自動化ソリューションも提供させて頂き、ウルトラクリーン性能及び高い製品信頼性により世界各国のエンドユーザ殿からサプライヤー賞頂き、高い評価受けております。

本年は通常の半導体前工程用だけでなく、中工程と呼ばれるファンアウト工程にも対応可能なPLPパネル搬送ロボットを展示させて頂きます。ロングリーチの半導体ロボットをベースに小フットプリントでコンパクトなパネルのクリーン搬送を実現しています。

またローツェで独自開発した距離センサ―、加速度センサーの使用例を展示します。自動化装置の長期間使用による位置ずれの検知によりウェハスクラッチ等の問題を防ぐ予測検知及び衝突等の異常検知目的に使用可能です。またオートティーチング等への応用も可能です。

エンドユーザからの窒素パージの次世代の更なる要望に対応する為、ローツェ独自のN2マイクロエンバイロンメントタイプのN2ソリューションをパネル展示します。フルタイプのN2 EFEMの懸念点である、高イニシャルコスト、高ランニングコスト、コンタミネーション、温度上昇のリスクを、ローツェ特許のN2シャッタドア、N2アンブレラタイプロボットエンドエフェクター(第2世代)により解決するソリューションです。

装置メーカ様向けソリューションの骨格となる真空プラットフォームも、シームレスに安定してかつ導入し易い制御を提供する米国Cimetrix社製品のCIM Control Framework(TM)をベースとした装置制御ソフトウェアと共にトータルソリューションを提供します。ローツェ独自開発の真空チャンバ表面処理技術RM処理もデータ展示します。ローツェ独自の真空チャンバの表面仕上げ、表面処理により、低アウトガス、低パーティクル、短時間真空ポンピング時間を達成します。


 出展製品

  • N2局所パージシステムによるN2EFEM・ソータ
    EFEM全体をパージする事なく、ローツェ独自(特許申請中)のN2アンブレラによるロボットパージ、N2シャッタータイプロードポート、N2プリアライナ(技術により、安全/安価でコンパクトな局所パージ搬送システムを提案します。...

  • ・N2アンブレラタイプロボットエンドエフェクター

    ロボットハンドリングを通常搬送同様、下からの保持に変更しました。(第2世代)。ウエハはエッジクランプハンド上面と、パージプレート下面にサンドイッチされ、ウエハパターン面をN2パージする事で、低湿度・低酸素状態を維持しながらロボットでの搬送可能です。

    ・N2シャッタタイプロードポート

    FOUPをN2パージする機能に加えて、ローツェ特許取得のシャッター構造により、FOUPドアOpen時のウェハ搬送時でもFFUからのダウンフローを巻き込まず、安定した低酸素、低湿度状況を確保可能です。LPのミニエン側に25段のシャッターを設けロボットがウエハアクセスするスロットのみシャッター開閉する事で開口面積を最小にし、FOUP内の酸素濃度、湿度の変化を最小限にします。LPの取付規格(SEMI E63 BOLTS-M)に準拠しており、パーマネント・リザーブド・スペース:100mm以下を実現する薄型設計により既存装置にも、そのまま載せ替え可能です。

    ・N2プリアライナー

    ウェハのアライメント時にもプリアライナーのエンクロージャー内部のみN2パージする事でアライメント中のウェハを常時低湿度・低酸素状態に保持します。

    ・N2局所パージEFEM・ソータ

    上記N2局所パージモジュール搭載した単体を組み合わせてEFEM・ソータ等のシステムを構成する事により、ウェハプロセス直後のロードロックから、その後のバッファ、アライナ、ロードポート全ての工程で一貫・連続した局所パージを行う事で湿度・酸素に暴露されず安全に3Dプロセスウェハの搬送を可能としています。フルN2循環タイプと比較して、高イニシャルコスト、高ランニングコストN2 再利用によるコンタミ、温度上昇等のリスクを解決するソリューションです。
  • パネル搬送ロボットRR759
    ブーメランアーム構造のロボットにより低最小旋回半径かつロングリーチを両立させています。 ディスプレイパネル搬送用のロボットではなく、主に半導体中工程、ファンアウトプロセスでのPLPでの使用を想定しています。軽量コンパクトでありながらロングリーチ、かつ高いクリーン性能を保持しています。...

  • より小さい最小旋回にも関わらず、長いロボットアームリーチを持ち、かつより低いパスラインでより長いZ軸ストローク持つロボットです。

    従来の「コ」の字リンクが不要の為、高剛性、高加重達成出来、ガラスのような重量物の搬送に最適なロボットです。

  • 真空プラットフォーム、真空ロボット /真空用極低放出ガス表面加工処理「RM処理」
    RORZEの真空搬送システムは、真空プラットフォーム、真空ロボット、真空アライナ、そして極低放出ガス表面処理加工などの独自技術でシステムが構成されており、高度な位置再現性、信頼性の高い真空隔壁能力、そして放出ガスを極限まで抑えたクリーンな搬送システムであることが最大の特徴です。また、お客様のニーズに合わせた装置構成を組み合わせることで、シンプルで高性能な真空搬送システムを実現しています。...

  • ・真空プラットフォーム

    独自開発の駆動部を使用した、真空ロボット、真空アライナなどのユニットを搭載したクリーン搬送システムです。自社開発の各構成ユニット(駆動部、制御部、ソフトウエア)により、お客様のニーズに合わせた装置構成を実現でき、シンプルで高性能な真空搬送システムを作り上げることにより、さまざまな半導体アプリケーションに適応します。

    ・真空ロボット、真空アライナ

    独自開発のDDM(真空・ダイレクト・ドライブ・モーター)を駆動部に搭載しており、大気と真空の分断に、摺動シールを一切使用しておらず、金属製の隔壁のみを使用しています。そのため、極小のリークレート性能を有しており、超高真空まで対応可能です。また、駆動部のフリクションロスが最小限に抑えられているため、非常にスムーズで高精度の搬送動作が可能です。

    ・極低放出ガス表面加工処理「RM処理」

    「RM処理」は、真空環境中での真空チャンバ内表面や真空ロボット表面からの放出ガスを、極限まで低減することを目的に開発をおこないました。自社工場(RORZE ROBOTECH CO.,LTD.:ベトナム)の加工技術により、ご要求仕様の性能・コストを考慮し、最適な加工をおこないます。加工後に、エッチングプロセスによってナノレベルの極小凹凸の平坦化をおこなうことにより表面積を最小化。また、緻密な不働態酸化被膜の生成プロセスにより、ガス放出の低減とガス吸着を最小限に抑え、極低アウトガス性能を実現しました。

    「RM処理」施工後の表面は、厚み10nm以下の緻密な不働態酸化被膜が生成され、母材に含有しているガスの放出を抑えるバリア効果が期待できます。

    また、「RM処理」後に洗浄工程をおこなうことにより、残渣の除去をおこない、不純物を最小限に抑えています。

    超高真空領域やベーキングなどによるアウトガス成分については、脱離成分のほとんどがm/z=18(H2O:水)となっており、不純物による汚染の心配がなく、高清浄度を実現しています。
  • RR757ロボットと距離センサー & 衝突検知
    ローツェ独自開発の距離センサ―、加速度センサーにより、装置内部との距離測定、及び衝突を検知する事により、予防保全、予測保全、異常検出、ティーチングへの応用等を可能にします。...

  • ブレード上やリスト部に搭載されたスマートセンサで、今までエラーに

    することが出来なかった異常を検知することが可能です。

    ロボット自身の動きには反応せず、擦れや衝突などの異常のみを検知する

    加速度センサ、ウェハとの高さ関係の妥当性を常に関する距離センサ。

    ティーチングの妥当性を検証するなど、今まで人に頼っていたことを自動化

    する方法を提案致します。

  • CIMControlFramework / CIMPortal Plus
    CIMControlFramework: 装置制御のためのソフトウェアフレームワーク CIMPortal Plus: 装置メーカ様のための EDA/Interface A ソリューション ...

  • CIMControlFrameworkの装置制御ソリューションにより、装置メーカ様は監視制御、基板搬送、プロセス制御、ホスト通信といった工場からの要求に対応できるようになります。

    装置メーカ様では、CIMControlFrameworkをご使用いただくことにより、リソースを装置独自のプロセスや製品の差別化に集中していただけます。また、CIMControlFramework は将来的な要件をも満たす持続可能なソリューションを提供いたします。

    CIMPortal Plus により、装置メーカ様は EDA/Interface A の Freeze version I (1105) と Freeze version II (0710) の両バージョンのサポートが可能となります。さらにCIMPortal Plus では SEMI E164 (Specification for EDA Common Metadata) もサポートしています。装置メーカ様では CIMPortal Plus をご使用いただくことにより、EDA/

    Interface A 接続を最小限の時間と費用で実装が可能となります。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor