特許機器

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.tokkyokiki.co.jp
  • 小間番号1833


当社による微振動&磁場&免震の対策で、お使いの高感度な精密測定装置の性能を 最大限に発揮させる設置環境を実現致します!

微振動対策

微弱磁場対策

免震BCP対策

3つの柱(対策)により、精密測定装置の性能を最大限に引き出します。


 出展製品

  • アクティブ除振台+アクティブ磁場キャンセラ
    電子顕微鏡(SEM/FIB 他)及び電子線を利用した精密測定装置の性能を最大限に引き出すために、微振動外乱と磁場外乱とから守ります。...

  • 【アクティブ除振台  Model:αL4X-911】

     走査型電子顕微鏡(SEM/FIB)を搭載対象に、極限まで低床化。 XYZ方向及び各回転軸の微細制御を可能に。

      -用途対象-

     ■ 走査型電子顕微鏡(SEM) ■ 集束イオンビーム(FIB) ■ ウエハー観察測長SEM etc

    【高性能アクティブ磁場キャンセラー】

     電車、自動車、エレベータなどの磁性体の通過や電源などが原因である磁場変動は、電子顕微鏡のような電子ビーム応用装置などに悪影響を及ぼします。AMC-330は任意方向の磁場変動を高感度磁場センサ及びデジタルコントローラで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変動を抑制するシステムです。

        -用途対象-

     ■ 走査型電子顕微鏡(SEM) ■ 透過型電子顕微鏡(TEM) ■ 集束イオンビーム(FIB)

     ■ 質量分析装置(MASS) ■ 電子ビーム描画装置(EBL) ■ マスク検査装置 

     ■ ウエハー観察測長SEM etc

    【その他除振装置及び計測機器】

       アクティブ除振アイソレータ ”Nα”シリーズ

       微振動計測システム MRA-03X/MRA-06X


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other