IoTの時代におけるセンサの用途拡大に対応した新センサや特殊金属材料のMEMS加工技術についてご紹介します．
本研究室では，多目的のセンサ・デバイスや生産技術の研究開発を実施しております．以下に示すような本研究室特有の技術を有しております．各部署でお抱えの課題の解決についてNDAを結び調査研究もいたしますのでお気軽にご相談ください．
１：半導体MEMSを用いた視覚・触覚・冷温覚コンボセンサ （製品の感性的な質感を客観的に数値化するセンサ）．
想定される応用例 産業用ロボット
２：非接触型/接触型インピーダンス計測用水晶センサ
想定される応用例 水処理，油の劣化，加工用液体の管理，コンクリート，土壌，化成品，植物，食品の鮮度や品質，皮膚，炭酸飲料，ミネラル水などのパイプライン，容器などの外部からの評価
３：特殊金属，難加工材のDRIE技術と装置（Ti合金，Ta，Nb,Moなどの特殊金属, ガラス，水晶の微細加工技術）
想定される応用例 機械的・化学的耐久性が要求される用途のマイクロセンサおよびアクチュエータの生産，ガラスや水晶の微細加工など
追加情報
初出展/New Exhibitor
No新製品/New Products
Yes製品展示/Displaying Equipment
Yesデモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, その他/Other