ボールウェーブ

仙台市,  宮城県 
Japan
http://www.ballwave.jp
  • 小間番号5630

球表面の弾性表面波は回折によって拡がらず、同じ幅で伝搬するコリメートビームを形成し赤道を周回する。この多重周回経路上に感応膜を形成するとガスセンサとなり、シリカ膜を形成したボールSAW水分計とボールウェーブ社の今後のガス計測の展開について出展します。


 プレスリリース

  •  ボールウェーブ株式会社 (ボールウェーブ、本社:宮城県仙台市、代表取締役:赤尾慎吾)は、このたび、工業用高純度ガスや製造環境に残存するごく微量な水分子を高感度に検出する携帯型微量水分計FalconTrace mini ( FT-300WT)の受注を開始いたします。FalconTrace miniはこれまでの微量水分計にはない高速応答性を有するため、製造工程におけるガス中の水分子量が変化する様子をインラインでリアルタイムに把握することができます。
     半導体デバイスの急速な高集積化・微細化に伴って、製造工程で使用される材料ガスの残量水分を1ppm以下に抑えることが要求されています。 しかし、この感度を有する微量水分計は大型で高価な光学式測定器しかなく製造ラインに導入できませんでした。また、リチウムイオン電池製造工程では電極材料をフィルム基材にウェットコーティングしてそれを乾燥し巻取って組み込むという作業が行われます。その工程で水分が残留すると最終製品である電池の性能あるいは寿命がはなはだしく低下するため、これらの工程をスーパードライルームと呼ばれる超乾燥雰囲気中で実施します。しかしながら、これまでの微量水分計は応答速度が不十分であるためスーパードライルームの制御に用いることができませんでしたが、今回ご紹介するFalconTrace miniではこれらの測定も可能となりました。
     FalconTrace miniはボールウェーブのコアテクノロジーであるボールSAW(surface acoustic wave=弾性表面波)センサを用いた微量水分計です。ボールSAWセンサは、物理学の常識を超えた球上のSAW の長距離伝搬現象を利用した高速・ 高感度なガスセンサであり、センサ本体が直径 3.3mmの小さな水晶球であるため半導体製造ライン、リチウムイオン電池製造ラインなどに容易に導入することができます。またセンサ本体の応答速度が速くセンサセルの体積も小さいため、水分量の変動にも1秒以内で反応し正しい値をモニタすることができます。
     ボールウェーブは、工業用の微量水分計のみならず、小型高感度な水素ガスセンサや手のひらサイズのハンディ・ガスクロマトグラフの開発を通して水素社会や環境の安全・安心に寄与しガス計測の革新を目指しています。
    【FalconTrace mini (FT-300WT)】
    1.測定範囲 0~1000ppmv
    2.流量範囲 0~6L/分
    3.応答速度 1秒以内
    4.電源   24V, 60W
    5.寸法 110X165X70mm
    6.重量 1.2Kg
    7.出荷時期 2018年11月
    【ボールウェーブ株式会社概要】
    代表者名及び役職名: 代表取締役社長 赤尾慎吾
    本社住所:(〒980-8579)宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-40  T-Biz 501号
    電話番号: 022-302-6659 FAX番号: 022-302-6709
    東京オフィス:(〒170-6045)東京都豊島区池袋3-1-1 サンシャイン60ビル 45階
    電話番号: 03-5979-2357
    ホームページ:http://www.ballwave.jp
    本件に関するお問い合わせ先:
    ボールウェーブ株式会社 営業部 鈴木賢一
    電話番号:03-5979-2357

 出展製品

  • FalconTrace
    超微量水分計...

  • <仕様>

    検出範囲: 1ppbv-1000ppmv

    露点: -110℃ー30℃

    流量範囲: 0-1L/min

    対応ガス: 空気。不活性ガス、炭化水素ガス、腐食性ガス(応相談)

    応答速度: 30秒以内

  • FalconTrace mini
    ・PPMレベルまで測定できる微量水分計 ・ボールSAWセンサにより既存品より100倍以上早く計測可能 ・主な使用用途: 半導体製造装置(前工程)、リチウムイオン電池製造、  OLED製造工程など微量な水分を嫌う工程で使用する事により歩留まり向上、  品質安定に貢献。また、天然ガスパイプラインや産業用ガス製造工程でも有効...

  • 高速応答・ハンディ・微量水分計「FalconTrace mini (FT-300WT)」販売開始のお知らせ

    ~世界初、製造工程の微量水分変動を秒単位で正しくモニタ~

    ボールウェーブ株式会社 (ボールウェーブ、本社:宮城県仙台市、代表取締役:赤尾慎吾)は、このたび、工業用高純度ガスや製造環境に残存するごく微量な水分子を高感度に検出する携帯型微量水分計FalconTrace mini ( FT-300WT)の受注を開始いたします。FalconTrace miniはこれまでの微量水分計にはない高速応答性を有するため、製造工程におけるガス中の水分子量が変化する様子をインラインでリアルタイムに把握することができます。2018年10月16日〜19日に幕張メッセで開催されるCEATEC JAPAN(小間番号S005-53)においてFalconTrace miniと高速応答デモキットを展示いたします。

    半導体デバイスの急速な高集積化・微細化に伴って、製造工程で使用される材料ガスの残量水分を1ppm以下に抑えることが要求されています。 しかしこの感度を有する微量水分計は大型で高価な光学式測定器しかなく製造ラインに導入できませんでした。またこれまでの微量水分計は応答速度が不十分であり製造ラインの制御に用いることができませんでした。

    また、リチウムイオン電池製造工程では電極材料をフィルム基材にウェットコーティングしてそれを乾燥し巻取って組み込むという作業が行われます。その工程で水分が残留すると最終製品である電池の性能あるいは寿命がはなはだしく低下するため、これらの工程をスーパードライルームと呼ばれる超乾燥雰囲気中で実施します。しかしこれまでの微量水分計は応答速度が不十分であるためスーパードライルームの制御に用いることができませんでした。

    FalconTrace miniはボールウェーブのコアテクノロジーであるボールSAW(surface acoustic wave=弾性表面波)センサを用いた微量水分計です。ボールSAWセンサは、物理学の常識を超えた球上のSAW の長距離伝搬現象を利用した高速・ 高感度なガスセンサであり、センサ本体が直径 3.3mmの小さな水晶球であるため半導体製造ライン、リチウムイオン電池製造ラインなどに容易に導入することができます。またセンサ本体の応答速度が速くセンサセルの体積も小さいため、水分量の変動にも1秒以内で反応し正しい値をモニタすることができます。

    ボールウェーブは、工業用の微量水分計のみならず、小型高感度な水素ガスセンサや手のひらサイズのハンディ・ガスクロマトグラフの開発を通して水素社会や環境の安全・安心に寄与しガス計測の革新を目指しています。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor