パール工業

大阪市住之江区,  大阪府 
Japan
http://www.pearl-kg.co.jp/
  • 小間番号5803


高周波電源のご要望、マイクロアークでお困りであればパール工業へご相談下さい。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。

パール工業株式会社では、
半導体製造装置などに使われる高周波電源・マッチングボックスを
お客様の仕様に合わせて設計・製造をしております。

LF帯からUHF帯まで幅広い帯域で実績があり、特にVHF帯(40MHz以上)では
パルス出力・周波数マッチングなど付加価値のある製品を提供しております。

今回は高周波電源の展示と合わせ、多くのお客様で問題となっている
マイクロアーク観測が可能な測定システムも展示致します。

皆様の御来場をお待ちしております。


 出展製品

  • マイクロアーク観測システム
    高周波電源の出力を精密に監視する事が可能なシステムです。 出力電力・反射電力などを精密に測定し、チャンバー内の異常を知ることが可能です。...

  • マイクロアーク観測システムは、高周波電源の出力を精密監視・記録する事が可能です。

    ご使用中の装置で問題が発生し、原因がわからない場合に使われる異常放電(マイクロアーク)も、

    電源の出力・反射波には影響が出るため本当に発生しているか確認する事が可能です。

    ブースでは製品説明の他に動作デモを行う予定のため、是非ご来場ください。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor