半導体製造に適したハイデンハインの高精度位置決め技術をご紹介します。
ハイデンハインの半導体製造・検査装置向けソリューションとして、リニアエンコーダ「LIP シリーズ」、「LIC 4100シリーズ」、「LIDA 400シリーズ」、角度エンコーダモジュール「MRPシリーズ」、そして真空対応エンコーダなど、お客様の幅広いニーズに応えた製品を各種出展いたします。
OPTODUR位相格子付き Zerodur ガラスセラミック
信号周期 4 μm
精度等級 ± 1 μm、± 3 μm
推奨分解能 2 nm
最大測定長 3040 mm
インターフェース 1VPP、TTL
METALLUR 目盛格子付
ガラスセラミック、ガラス、またはスチールスケールテープ
精度等級 ~± 1 μm
推奨分解能 1 μm~0.05 μm
最大測定長 30 m
ステータスLED搭載
貫通型の中空シャフトを搭載、シャフト径35mm
アブソリュートタイプとインクリメンタルタイプあり
OPTODUR位相格子付きガラスディスク
信号周期/回転 23000~63000
目盛精度 ± 4” ~± 0.9”
METALLUR アブソリュートコードトラック付
最高分解能 1 nm
最大測定長 28m
最高走査速度 10 m/s
インターフェース EnDat 2.2
ファナック、三菱、パナソニック、安川