堀場エステック

京都市南区,  京都府 
Japan
http://www.horiba-stec.jp
  • 小間番号4213


HORIBAは、独自の計測/分析ソリューションで、皆様に信頼(Count on)していただけるパートナーを目指します。

HORIBAグループのブースでは、新製品のマスフローモジュールSEC-Z700Sをはじめ、EtherCAT通信マスフローコントローラ・ウエハ裏面圧力制御システムや、真空チャンバ内のガス分析計、ガス濃度モニタ、プラズマ発光モニタなどの制御・計測機器を実機展示いたします。弊社エンジニアによる新技術の紹介やデモも実施しておりますので、是非HORIBAブースへお立ち寄りください!


 出展製品

  • サーマル式マスフローモジュール SEC-Z700S Series
    SEC-Z700S Seriesは新しいコンセプトのマスフローモジュールです。...

  • これらの新技術を搭載しています。

    ・ワイドレンジ
    ・流量精度向上
    ・実ガス精度保証
    ・高耐久性バルブ
    ・バルブシャットオフ性能機能
    ・応答速度調整機能
    ・動作可能温度の拡大
    ・接ガス部の耐食性向上
    ・Bin数の削減
    ・流量ゼロ点安定性

  • コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System
    四重極質量分析計の測定原理を使ったコンパクトプロセスガスモニタです。 ...

  • ●低真空(高圧)域0.5Pa(3.8mTorr)での操作が可能
    ●他社比20分の1の大きさ*
    ●ユーザーによるセンサ交換が可能でプロセス休止期間を最低限に
    *2015年当社調べ
  • ガスモニタ IR-400 Series
    成膜プロセス用チャンバクリーニング終点モニタです。プロセス装置に搭載し、排ガス分析をリアルタイムにモニタリングが可能です。...

  • ●2成分同時モニタリング(SiF4,CF4/WF6,NF3)が可能
    ●ガスセル加熱機能搭載(180℃)
    ●通信機能 アナログ出力:0-5VDC/4-20mA デジタル通信:RS485, RS232C(WF6,NF3仕様)
  • プラズマ発光モニタ EV-140C
    プラズマ状態の分析からプロセス管理までを実現するプラズマ発光モニタです。...

  • ●発光強度の弱いプロセスでも高感度に測定が可能
    ●充実した解析ソフトを標準搭載
    ・プラズマ発光分析からプロセスコントロールまでを実現する基幹ソフトウェア
    ・「Recipe Designer」で簡単なレシピ作成を実現
  • キャパシタンスマノメータ VG-200 Series
    コンパクト、オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計です。...

  • ●耐食性に優れたNi 合金をダイヤフラムに採用
    ●小型自己温調タイプでは最小クラス
    ●独自の電極構造により小型、高安定を実現

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor