東海大学 桑畑研究室

平塚市,  神奈川県 
Japan
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  • 小間番号1106


大気圧プラズマを用いた電気電子材料の表面改質・表面加工および工場廃水の浄化 東海大学工学部電気電子工学科 桑畑周司研究室

1) 大気圧プラズマジェットを用いた金属・半導体・ガラスの表面改質(表面洗浄、親水性・濡れ性の向上)および金属の表面加工(エッチング)

2) 大気圧プラズマジェットを用いた工場廃水中の有機物の分解


 プレスリリース


 出展製品

  • 1) 大気圧プラズマジェットを用いた金属・半導体・ガラスの表面改質(表面洗浄、親水性・濡れ性の向上)
    ガラス基板上の金属薄膜への大気圧プラズマジェット照射の様子...

  • 大気圧プラズマジェットは、印加電圧410 kV、アルゴン(Ar)ガス流量10 L/分間、照射距離2 mmガラス基板上に真空蒸着されたアルミニウム(Al)薄膜に照射された。
  • 1) 大気圧プラズマジェットを用いた金属・半導体・ガラスの表面改質(表面洗浄、親水性・濡れ性の向上)
    低印加電圧(4 kV)で発生させた大気圧プラズマジェット照射後のAl薄膜表面での水滴の様子...

  • 60秒間のプラズマ照射後、照射部分より広い範囲でAl薄膜表面の親水性が向上した。
  • 1) 大気圧プラズマジェットを用いた金属・半導体・ガラスの表面改質(表面洗浄、親水性・濡れ性の向上)
    高印加電圧(10 kV)で発生させた大気圧プラズマジェットの短時間照射後のAl薄膜表面...

  • 5秒間のプラズマ照射で、照射部分のAl薄膜がリング状(直径約6 mm)にエッチングされた。
  • 1) 大気圧プラズマジェットを用いた金属・半導体・ガラスの表面改質(表面洗浄、親水性・濡れ性の向上)
    高印加電圧(10 kV)で発生させた大気圧プラズマジェットの長時間照射後のAl薄膜表面...

  • 60分間のプラズマ照射で、照射部分から横方向にAl薄膜が円形(直径約26 mm)にエッチングされた。
  • 2) 大気圧プラズマジェットを用いた工場廃水中の有機化合物の分解(混合有色廃水の脱色)
    混合有色水溶液への大気圧プラズマジェット照射の様子...

  • 大気圧プラズマジェットは、印加電圧10 kVArガス流量10 L/分間、照射距離15 mm緑色染料と黄色染料の混合水溶液に照射された。50分間のプラズマ照射で、混合水溶液は脱色された(水中の有機化合物が分解された)

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other