東京応化工業

川崎市中原区,  神奈川県 
Japan
http://www.tok.co.jp
  • 小間番号4735

「感動を創造するtokの微細加工技術」を展示しています。皆様の御来場をお待ちしています。

  東京応化は、常にM&E(電子材料と製造装置)の両面から開発を進め、高付加価値化の実現を目指し、半導体前工程用に使用する電子材料(次世代リソグラフィ用レジスト・レジスト付属薬品等)、BUMP & MEMS等厚膜をターゲットとした後工程用製造装置・電子材料を製品化しております。

 次世代リソグラフィ用レジストは、ArF液浸用レジスト、誘導自己組織化レジスト、EB用レジスト及びEUV用レジストを展示。また、高解像対応はもとよりポジレジストやネガレジスト、厚膜のニーズに対応したi線、KrFレジストや各種付属薬品について製品を取り揃えております。

パッケージ用フォトレジストとしては、ピラー形成、再配線形成を主目的として高膜厚・高解像、高感度、高剥離性を有したポジ型レジストを展示。MEM用途として、構造物やマイクロ流路形成を主目的とした感光性永久膜、感光性接着剤を展示しております。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, 半導体/Semiconductor