Picarro Inc

Santa Clara,  CA 
United States
http://www.picarro.com
  • 小間番号1928


PICARRO社と三洋貿易株式会社の共同で出展いたします。

レーザー方式ガス分析計の世界トップブランドである米国PICARRO社より多点測定が可能な「AMCモニタリングシステム」が発売されました。

AMCモニタリングシステムにはHF、HCl、NH3、H2Sガスを高感度(ppb~ppt)でリアルタイムに測定可能なPICARRO社SI2000シリーズが搭載されており、半導体工場クリーンルーム内のマルチポイントモニタリングに対応した高機能なサンプリングシステムが採用されています。

三洋貿易㈱からPICARRO社製品をご紹介させていただきます。


 プレスリリース

  • シリコンバレーに本社を置くPICARRO社のAMCモニタリングシステムを実機展示いたします。

    半導体工場でのガス漏れ事故や、歩留向上の目的で世界的に広く採用されるようになったPICARRO社のAMCモニタリングシステム。

    韓国、台湾、日本での事例や方向性を含め、最新情報をご紹介いたします。

    PICARRO社A0317は、クリールーム内の各種ガスを高感度でリアルタイムに多点測定が可能なAMCモニタリングシステムです。ガス分析計にはPICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CDRS)を用いたSI2000シリーズが搭載されており、HF(フッ化水素)、HCl(塩化水素)、NH3(アンモニア)、H2S(硫化水素)などをppb~pptの高感度で連続測定します。測定シーケンスはユーザー側で自由に変更可能であり、”リークサーチモード”を使用した場合、8ポートのサンプリング配管を30秒で一括測定することができます。A0317は最大32ポートのサンプリングに対応しており、32ポートを最短2分でモニタリングします。ユーザー側で設定したガス濃度の閾値を超えたリークがあった場合は直ちにリークサーチを開始し、32ポートの中からリークが発生しているポートを特定するシーケンスに入り、リークしているポートの正確な濃度を直ちに表示します。(図1.参照)

    AMC

    図1.AMCモニタリングシステムの使用例


 出展製品

  • AMCモニタリングシステム
    クリーンルーム内の各種ガスを高感度(ppb~ppt)でリアルタイムに測定可能な据置型のAMCモニタリングシステムです。 ...

  • AMCモニタリングシステム
    A0317

    ・据置型AMCモニタリングシステム
     クリーンルームのAMC(Airborne Molecular Contamination)測定向け据置型ガス分析計
    ・1台で最大32ポイントをモニタリング
    ・測定ガス種
     HF、HCl、NH3、H2S、SO2、NO2など
    ・次世代のレーザー方式
     PICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CRDS)をガス分析計に採用
    ・リアルタイム測定
     高感度(ppb~ppt)で多点連続測定
    ・SEMI、IEC、CE規格適合

  • ガスモニタリングシステム
    A0316は、クリーンルーム内の各種ガスを高感度(ppb~ppt)でリアルタイムに測定可能な可搬型のガスモニタリングシステムです。...

  • ガスモニタリングシステム
    A0316

    ・可搬型ガスモニタリングシステム
     半導体製造装置メンテナンス時のリークチェックに便利な移動式ガス分析計
    ・1台で最大16ポイントをモニタリング
    ・測定ガス種
     HF、HCl、NH3、H2S、SO2、NO2など
    ・次世代のレーザー方式
     PICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CRDS)をガス分析計に採用
    ・リアルタイム測定
     高感度(ppb~ppt)で多点連続測定
    ・SEMI、IEC、CE規格適合

  • ガス分析計
    主な特長 5秒以下の間隔で高速連続測定 周辺温度変化の影響を受けない優れた精度 自動キャリブレーション機能による測定精度の長期安定性を実現 現場から現場への持ち運びが容易な可搬型...

  • ・次世代のレーザー方式
    PICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CRDS)
    ・リアルタイム測定
    高感度(ppb~ppt)で数秒間隔の連続測定が可能な可搬型ガスセンサー
    ・SEMI、IEC規格適合
    半導体工場での使用に対応

 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor