フィルメトリクス

横浜市港北区新横浜,  神奈川県 
Japan
http://www.filmetrics.co.jp
  • 小間番号2712


膜厚測定・段差測定のフィルメトリクスです。3次元表面形状測定システム、自動膜厚システム等の実機を展示致します。

膜厚測定のフィルメトリクスが20年で培った光学測定技術のノウハウを駆使して完成させた、光学式の3次元表面形状測定システム プロフィルム3Dを展示致します。コンパクトなのに高性能なシステムを、従来の常識をくつがえす驚愕の低価格と短納期でご提供致します。


 出展製品

  • F54 顕微式自動膜厚測定システム
    微小領域での高精度な膜厚・光学定数解析機能と自動高速ステージを組み合わせたシステムです。2インチから450mmまでのシリコン基板に対応。測定スポット径を1μmから100μmまで用途に応じて選択出来ます。...

  •  主な特徴  
    • 光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム
    • 5倍から50倍の対物レンズに対応し、測定スポット径を1μmから100μmまで用途に応じて変更
    • 2インチから450mmまでのシリコン基板に対応
  • Profilm3D / プロフィルム3D 3次元表面形状測定システム
    非接触光学式のコンパクトな3次元表面形状測定システム。 ナノオーダーの分解能でを持ち、サンプル表面の形状や粗さ、段差が測定可能。...

  • プロフィルム3Dは、非接触光学式のコンパクトな3次元表面形状測定システム。誰でも簡単に非接触でサンプル表面の形状や粗さ、段差が測定可能です。深さ方向にナノオーダーの分解能を持ち、一度に広範囲でサンプル表面の段差・粗さ測定が可能です。例えば10倍のレンズで視野は2mm角。デジタルズームも併用できます。自動XYZステージとマニュアルタレット、標準段差サンプルが標準装備。


     主な特徴 

    • 低価格!  必要な機能を全て装備しながら低価格を実現
    • ナノメートルオーダーの高さ分解能!  位相シフト干渉法を採用し、高い分解能を実現
    • 充実の標準装備!  X-Y自動ステージ、手動リボルバー、自動光量調整、オートフォーカス機能
    • コンパクトな筐体! 本体のフットプリントは30×30cmとコンパクトな設計
    • WLIとPSIの両測定モードを搭載! 段差測定と粗さ測定の両方を1台で測定
    • 簡単操作!  基本操作は簡単なマウス操作だけ
    • ISOに準拠した粗さの測定!  国際規格 ISO25178 に準拠
  • F20 卓上式膜厚測定システム
    世界中で5000台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な卓上膜厚システムです。...

  • 研究開発から製造現場のインライン測定まで幅広い用途でご利用頂けます。

     主な特徴 

    • ワイドレンジの膜厚に対応(1nm - 250μm)
    • 広い波長領域に対応(190nm - 1700nm)
    • パワフルな膜厚解析
    • 光学定数(屈折率・消衰係数)の解析
    • コンパクトな筐体
  • F3-sX 基板厚測定システム
    基板厚・厚膜測定システムF3-sXシリーズ 近赤外域で高分解能の分光測定を行うことにより、10μm~3mmまでの基板厚や厚膜の測定を、0.4%の高精度で行えます...

  •  主な特徴 

    • シリコン基板やガラス基板の厚さを高精度で測定
    • 独自開発した高波長分解能の分光器を搭載!最大3㎜までの厚膜測定が可能
    • 10μmの小スポット径で粗く不均一な膜の測定が可能
    • 自動ステージを追加することで面内分布も簡単に測定
  • F50 自動マッピング膜厚測定システム
    自動ステージで膜厚マッピングが簡単に高速で行えます。小さいフットプリントながら最大450㎜径のサンプルまで標準で対応しております。膜厚分布を2D/3Dで捉えられます。...

  •  主な特徴 

    • 光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム
    • 指定したポイントの膜厚,屈折率を、従来では考えられなかったスピードで測定
    • 2インチから450mmまでのシリコン基板に対応し、任意の測定ポイントを指定可能

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor