リオンブースへようこそ!
薬液中の30nm粒子を測定するKS-19F、フォトレジスト溶液中の0.1μm粒子を測定可能なKS-41B、超純水インライン測定用のKL-30A/30B、幅広い粒径をカバーするKSシリーズを展示し、液体中の清浄度管理をトータルサポート致します。気中粒子については、ハンディタイプから大流量のポンプを採用した一連の製品をご紹介します。リオンパーティクルカウンタ40周年を記念したブースとなっておりますので、是非弊社ブースにお越しいただき実機をご覧ください。
・最小可測粒径 0.03 μm ・任意に粒径区分を設定可能 0.03 ~ 0.13 μm の範囲で10 段階 ・セルにサファイアを採用 ・豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応