リンテック

新宿区,  東京都 
Japan
http://www.lintec-mfc.co.jp
  • 小間番号5619


液体気化供給システムのパイオニアとしてこれからも開発主導型企業を目指し、様々な産業の発展に寄与していきたいと考えています

マスフローコントローラ(Mass Flow Controller、MFC)は、半導体や液晶製造工程、その他電子デバイスの製造工程で使用される各種気体及び液体の質量流量を高精度で制御する機器です。気体及び液体の流量を体積ではなく質量で制御するため、温度や圧力に依存することなく、極めて高精度で流体を制御することができます。

また、近年増加傾向にある液体気化供給プロセスへ対応するべく、様々なシステム提案を行っております。


 出展製品

  • 小型加熱ヒータユニット HXシリーズ
    HXシリーズは、リンテックの持つ高効率液体気化技術を応用した小型のヒータユニットです。 ...

  • ・コンパクトでありながらMax300℃までの加熱が可能。
    ・圧力損失を極限まで抑えた設計技術。
    ・オールメタルのクリーン構造。
  • 低価格マスフローコントローラ MC-10RCシリーズ
    短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のMFCです。...

  • ・流量精度は±1.0%F.S.を保証。
    ・バリアブルレンジ機能を追加することで(オプション)、F.S.流量が容易に変更可能。
    ・納期1週間以内での対応が可能。
  • 液体マスフローコントローラ LCシリーズ
    液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを搭載した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。...

  • ・流量精度は±1.0%F.S.を保証。
    ・独自の周囲温度補償方式マスフローセンサを内蔵
    ・気化器と組み合わせることで、液体気化供給器としても利用可能。
  • 気化器 VUシリーズ
    各種プリカーサを効率良く気化供給するための気化器です。...

  • ・High-kやLow-k、各種メタル原料など、低蒸気圧・高沸点なプリカーサにも対応。
    ・豊富な経験とラインナップにより、プリカーサや流量、使用条件によって最適な方法をご提案。
    ・気化器のみならず、気化供給システムとしてトータルソリューションで提供可能。
     
  • EtherCATマスフローコントローラ MC-5000Cシリーズ
    SEMIに準拠したEtherCAT専用の高精度マスフローコントローラです。...

  • ・流量精度は±1.0%S.P.を保証。
    ・メタルシールを採用することで、腐食性のあるガスにも対応可能。
    ・各種オプションで、あらゆる条件に対応可能。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor