三菱重工工作機械

栗東市,  滋賀県 
Japan
http://www.mhi-machinetool.com
  • 小間番号5719


三菱重工工作機械は、微細レーザ加工機、精密加工機、常温接合技術で微細加工ソリューションを提供します。

三菱重工工作機械(株)は、以下の3製品を出展して皆様に微細加工のソリューションを提供します。

  (1)微細レーザ加工機ABLASER

短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない極めて高品質な穴加工や

       溝加工を実現します。本展示会ではシリコンとSiCの複合材ウエハやグリーンシート金型

       の穴明けサンプルを展示しております。

  (2)精密加工機μV1

高剛性、低振動主軸と撮像式工具測定システムによる高品位自由曲面加工を実現します。

       また、従来切削加工に不向きであった、セラミックスやサファイア等の脆性材料の加工にも

       適しています。

  (3)常温ウェーハ接合装置

室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固に

       接合します。MEMSの真空封止、エンジニアリング基板、3D積層などに活用できます。

       各種材料の接合サンプルを展示しますが、特に3D積層用に5μmまで薄化した

       300㎜ウェーハの接合サンプルが見ものです。


 出展製品

  • 微細レーザ加工機ABLASER
    鉄系材、シリコンウエハ、Sic、ガラス材等に微細な穴や溝を加工するレーザ加工機です。短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない高品質な加工面が得られ、精密金型、精密ノズル、MEMS、半導体部品の加工に活用できます。...

  •  ABLASERは当社独自のレーザヘッドの採用で、ストレート穴、テーパ穴、逆テーパ穴等の多彩な穴加工が可能です。切削加工や放電加工に比べ、加工時間が早いうえに、高品位な加工面とシャープなエッジが特徴です。また、加工機本体には、熱変位の少ない高剛性グラナイト製ベッドとコラムを採用。これに、長年の工作機械作りで培ったNC精密位置決め機構を搭載し、ミクロンオーダの位置決め精度を実現しました。グリーン光を用いたABLASERに加え、深紫外線光を用いたABLASER-DUVをラインナップ化し、更なる小径穴(20ミクロン以下)の高精度加工を実現しております。穴加工、精密切断、溝加工等の幅広い微細加工アプリケーションと、鉄系材、Sic、シリコンウエハ、ガラス材等多様な材質への適用により、MEMS、半導体部品、精密金型、精密ノズル、医療機器など、幅広い分野に活躍の場が広がっております。
  • 精密加工機μV1
    高剛性、低振動主軸と撮像式工具測定システムによる高品位自由曲面加工を実現します。また、従来切削加工に不向きであった、セラミックスやサファイア等の脆性材料の加工にも適しています。...

  •  高速40,000min-1の主軸を持つ精密3次元切削加工機です。徹底した熱対策により、機械自体の発熱や環境温度変化による熱変形を抑制し、μmオーダ、サブミクロンオーダの加工精度を実現します。CCDカメラを用いた撮像式工具測定システムにより、加工工具先端位置を高精度に測定し、正確に機械を動かすことで、安定した微小な切込みを可能とし、従来切削加工に不向きであった、セラミックスやサファイア等の脆性材料の加工にも適しています。Φ0.03mmといった微細な穴あけ、微細溝、パターン形状、3次元自由曲面など様々な形状加工が可能です。また精密・高速加工機でありながら十分な機械剛性を持っているため、微細な加工のみならず、治具や周辺機器、金型といった比較的大きな部品の製作にも適用できます。
  • 常温ウェーハ接合装置
    シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属等多岐にわたる材料を室温で強固に接合する装置です。MEMSの真空封止、SAWフィルタ用基板、3D積層などに活用できます。...

  •  ウェーハ表面をイオンビームや中性原子照射により活性化し、室温で接合する装置です。MEMSのウェーハレベルパッケージングでは、既にデバイスの量産に用いられており、高精度の加速度センサ、圧力センサ、ジャイロ、発光素子、SAWフィルタを始め様々な分野で実用化が進んでいます。4インチから12インチまでのウェーハサイズに対応し、経済的なランニングコストでデバイスの量産を支えます。

    三菱重工工作機械では、デバイスの開発フェイズに合わせた接合サービスを行っており、お客様の開発するデバイスの製品化をサポートしています。

    また、装置の購入計画のないお客様に対しても接合のファンドリーサービスを実施しています。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor