ミニマルファブ

つくば市,  茨城県 
Japan
http://www.minimalfab.com
  • 小間番号3812


最新のミニマルシステムを35小間の広いスペースに動態展示いたします。皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会とミニマルファブ推進機構では、この1年間でミニマル製造装置の商品群の開発と、商品化へ向けた新たな装置群の開発を着実に進めて参りました。今回のキャッチフレーズは「ミニマルファブ先端へ」。見どころは次のとおりです。

・生産に使う水準に到達

・CMOS集積回路実証、各種センサー実証

・一部のプロセスは先端的レベルに到達(TiNゲート、FOWLP等)

・一部のプロセスはメガを凌駕(スキャロップフリー深掘りエッチング、超高速メッキ等)

●新規技術ミニマル装置  ※ 特設コーナーにて展示

・EB露光装置

・ミラープラズマCVD装置

・イオン注入装置

・薬液サーバー装置

●デモンストレーション

(1) リソグラフィーデモ

ブース通路際に配置する3装置群(塗布装置→露光装置→現像装置)で1時間に1回程度の割合で、複数の装置を連続して使用し、ものづくり(デバイス加工プロセス:「リソグラフィーデモ」)を実演します。

(2) スタンプラリー

昨年好評だったスタンプラリーのお楽しみ度UP。スタンプスポットブースでプチプレゼント。コンプリートいただきますと、ミニマル最新情報をお知らせいたします。また、抽選により当選者の方にあなたの名刺をリソグラフィ印刷したハーフインチウェハを差し上げます。


 出展製品

  • ミニマルファブ装置群
    各種ミニマルファブ装置の動態展示のほか、ミニマルファブ装置を用いたアプリケーションや専用部品展示、また、これらの販売展開などについてもご案内いたします。...

  • [ミニマル装置 種類]

      1.SPM洗浄機、2.RCA洗浄機、3.レジスト剥離装置、4.WET酸化膜エッチャー装置、5.アセトン洗浄装置、6.WETアルミエッチャー装置、7.コーター装置、8.現像装置、9.PZTコート装置、10.SODコート装置、11.マスクレス露光装置、12.マスクアライナー装置、13.CMP装置、14.集光型加熱炉装置、15.抵抗型加熱炉装置、16.レーザー加熱炉装置、17.プラズマエッチング装置、18.プラズマスパッタ装置、19.バックグラインダー装置、20.イオン注入装置、21.ウェハ反転機、22.光学顕微鏡、23.電子顕微鏡、24.ウェハ微粒子スキャナ、25.デバイス測定機、26.バンプ接合装置、27.ウェハ平面度検査装置、28.ダイボンダー装置、29.圧縮モールド装置、30.レーザービア加工装置、31.インクジェット装置、32.深焦点マスクレス露光装置、33.メッキ装置、34.ボールマウンター装置、35.マルチターゲットスパッタ装置、36.水プラズマアッシング装置、37.ワイヤーボンダー、38.3D顕微鏡、39.両面対応マスクレス露光装置、40.イオンミリング

    装置台数 総計約60台。 装置台数および種類は変更となる場合あり。 

    [その他のミニマルプロダクト]

      ミニマルシャトル(密閉ウェハ搬送容器)、ウェハケース、マニュアルシャトルオープナー、ハーフインチウェハ、真空対応PLAD、大気仕様完全密閉PLAD、ミニマル装置筐体ドッキングシステム、バルブ、ゲートバルブ、EDAツール、ミニマルタッチパネルユーザーインターフェース、他。

    [デモンストレーション]

    7 8 11および顕微鏡による「リソグラフィデモ」をライブで行います。

    [デバイスアプリケーション展示]

    ミニマル装置を用いて製作したデバイスを展示いたします。

    [ソリューション展示]

    ミニマルファブの世界展開を担当メンバー企業の皆様よりご提案いたします。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor

Categories