SVCS Process Innovation s.r.o.

Brno, 
Czech Republic
http://www.svcs.eu
  • 小間番号5611


イノベーションが未来を創る

SVCSプロセスイノベーションは、熱反応炉およびCVD(化学気相成長法)装置の領域におけるナノサイエンス技術のためにソリューションを提供し、これらは大量生産、要求が厳しい研究開発あるいはパイロットプロジェクト用途に用いられます。このツールは半導体、太陽電池、MEMS製造およびその他のナノ技術応用の各分野、多くの研究領域におけるプロセス開発および材料の成長のために使用することができます。代表的なプロセスは、アニーリング、ボロンおよびリン拡散、酸化物、窒化物、TEOS、ポリシリコン、金属酸化物成長等です。

CVD装置、熱反応炉およびプラズマシステム等の科学機器の刷新およびアップグレードのための製造、サービスも提供します。この改修パッケー ジの主要な部分は、社内で開発されたUNIXベースの制御システムであり、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。この制御システムは、H2、 O2、HCl、SiH4、POCl3、BBr3、TEOS、TMA、DEZ等の超高純度ガス、液体およびプリカーサー蒸気供給システムでも利用することが可能です。


 出展製品

  • 横型拡散炉
    常圧拡散炉の設計は、マルチプロセス機能とフル生産システムが求められる最大の生産能力を有するだけでなく、研究やパイロット生産で使用される小型モデルに求められる高い柔軟性を実現しています。...

  • 常圧拡散炉の設計は、マルチプロセス機能とフル生産システムが求められる最大の生産能力を有するだけでなく、研究やパイロット生産で使用される小型モデルに求められる高い柔軟性を実現しています。また、メンテナンスが容易で、安全で信頼性が高い横型炉のプラットフォームとなっています。このSVCSの設計は、柔軟性の高い処理能力を有しながら、高効率、最小の環境負荷、低所有コストであるという点で非常に優れています 。

    特徴:

    * 半導体産業における長年の経験に基づく炉の建設

    * 半導体、MEMS(微小電気機械システム)、PV(太陽電池)の大規模製造向けフル生産モデルも、研究開発や小規模なパイロット工場向けの特別仕様の小型モデルもあります

    * 社内設計により高度な特別仕様を施した社内製造の最新型モジュール式制御システム

    * 優れた性能を持ち、長期間故障なしで使用できる炉装置を実現するために、常に最高品質の部品を選定

    * さまざまな処理に対応できる最大5段の石英製またはSiC(炭化ケイ素)製チューブ反応炉チャンバ

    * チューブごとの高度水冷システムにより、隣接するチューブ間での熱干渉なし

    * 非接触かつ全自動でボートをチューブにロードするカンチレバーまたはソフトローディング構成

    * メンテナンスが容易な機械設計

  • LP-CVD及びPE-CVDプロセス炉
    減圧CVD及びプラズマ強化CVD炉の設計は、マルチプロセス機能とフル生産システムが求められる最大の生産能力を有するだけでなく、研究やパイロット生産で使用される小型モデルに求められる高い柔軟性を実現しています。...

  • 低圧化学蒸着炉とプラズマ強化化学蒸着炉(LPCVD/PECVD)の設計は、真空システムや真空ポンプの主要メーカーとの提携による独自設計の真空システムを土台としています。個々のプロセス要件に応じて、複数の真空制御方式を利用できます。サービスエンジニアの協力のもと、すべての真空システムはメンテナンスが容易な機械設計に最適化されています。

    特徴:

    * さまざまな処理に対応できる最大4段の石英製チューブ反応炉チャンバ

    * 加熱・非加熱を問わず複数の方法による真空制御:

    - スロットリングバタフライバルブ-TBV

    - N2(窒素)バラスト

    - 周波数コンバータを用いた真空ポンプ制御

    * 主要な真空ポンプメーカーとの提携による真空ポンプシステムの組み込み

    * 独自設計の水冷フランジ

    * 独自設計の、社内で組み立てたグラファイトウェハーキャリア

    * 非接触かつ全自動でボートをチューブにロードする、独自のセラミック封入ツインロッドシステムによるカンチレバー

    * 独自設計による社内製造のRFジェネレータ

    * ご要望に応じて、主要メーカーとの提携によるRFジェネレータの組み込み

    * 非接触かつ全自動でボートをチューブにロードする、ソフトランディング機能付きSiC製パドルカンチレバー

  • 独自のプロセス制御システムSVconCS
    SVconCS制御システムはSVCS製横型、縦型熱反応炉(拡散炉、CVD炉)及びその他の半導体製造用装置に合わせて、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。...

  • SVCSのモジュール式制御システムは、横型と縦型の両方の熱反応炉として構成することができるハードウェア、ソフトウェア、入出力インターフェースと、さらには、半導体産業で用いられるその他の機器を組み合わせたものです。このシステムは、SVCS製の新しい機器だけでなく、他

    メーカーの製品を改修したツールにもすぐに取り付けることができます。プロセス制御アプリケーション用の安定的で信頼性が高いプラットフォームとしてLinuxのオペレーションシステム(OS)が選択されており、オペレーターは複数のパスワード構成を通じて利用することができます。

    レシピ開発やプロセスデータ処理など、多様な業務を遂行するための強力なツールを工場管理者やプロセスエンジニアに提供する目的で、Windowsを用いた追加のソフトウェアパッケージを開発済みです。システムとの通信はTCP/IPネットワークに基づいているので、ユーザーはこのプログラムを遠隔アクセスなど、さまざまな方法で使うことが可能です。主な特徴の1つは、これをSECSプロトコルによる通信をはじめ、さまざまな高度の製造管理システムに組み込めることです。

  • 超高純度ガス、液体供給システム及び排ガス除害装置
    幅広い種類のウェハー製造技術を対象にした特別仕様の超高純度ガス、液体供給システム、さまざまな研究開発用カスタムパネル及び各種の排ガス除害装置を紹介しています。...

  • ■ 超高純度ガス供給システム

    SVCSは長年の実績を活かして、幅広い種類のウェハー製造技術を対象にした特別仕様のガスパネルやガス供給システムのほか、さまざまな研究開発用カスタムパネルを製造しています。SVDELIガス供給システムファミリーは、高水準の技術デザイン、世界の主要メーカーの部品、独立した安全機能を備えた完全自動制御システムを提供します。パネルはすべてクラス10/100のクリーンルームで製造され、溶接と組立ての後にはヘリウム漏れ試験を実施しています。専門的な設計と併せて、オービタル溶接システムに特殊な小型溶接ヘッドを使用することにより、パネルの内部体積を極めて小さくすることができます。

    制御システムの特徴

    * タッチスクリーン表示を備えた全自動制御システム

    * 自動サイクルパージ

    * シリンダ圧力またはシリンダ重量の監視

    * 出力圧力監視用の圧力変換器

    * 過流防止スイッチ

    * 自動切り替えに用いるプログラム可能なシリンダ圧・重量の極限値

    * 外部デジタル入出力

    * さまざまな稼働モードに対応した複数のレベルのパスワード保護

    * LAN接続用のイーサネットインターフェイス

    ■ 超高純度液体供給システム

    SVCSは、UHP(超高純度)液体化学物質を安全かつ全自動でプロセスに供給するための、高度なソーシング・供給システムを開発してきました。液体ソーシングシステムにはさまざまな構成のものがありますが、一般的には、さまざまな液体化学物質が使用するあらゆる型のキャニスターに合うようにカスタマイズした単独または二層コンテナキャビネット型になっています。ソーシングシステムは、容器内の液体の上部の空間に適切なプッシュガスを充填して加圧した液体を供給します。

    用途によっては、液体から希釈されたプッシュガスを取り除くために、オプションの脱気が必要な場合もあります。製造ニーズに合わせて液体を供給するために、緩衝タンクと液体VMB(バルブマニホールドボックス)を装着することもできます。

    ■ 排気システム

    また、SVSOL-ABT排ガス除害装置は、様々な半導体製造プロセスから排出された環境への排気が禁じられている有害な副産物を物理的及び化学的に環境へ排気可能な物質に変換する装置です。水シャワー、焼き尽くし及びこれらの組み合わせタイプがあります。

  • プロセス装置用システム構成機器
    バブラー(先進的温度調節器)、EBS(外部燃焼システム)、化学薬品制御パネル等のプロセス装置用の構成機器、アクセサリーを紹介しています。...

  • ■ バブラー(先進的温度調節器)

    半導体や太陽電池の製造プロセスに用いられる最新の反応成分の多くは、液相でしか入手することができません。これを技術的に利用可能な状態にするために、適切な供給システムが採用されています。その方式の1つとして、ガス状媒質を液体に通すことで液体蒸気を捕捉する仕組みがあります。

     このシステムは、さまざまなサプライヤーが提供する一般的に使用されているすべての化学薬品容器に対応しています。さらに、特別な用途に合わせて製造された希少な型に合わせて調節することも可能です。

    ■ EBS(外部燃焼システム)

    EBS(別名Ex-Torch)は、パイロジェニック酸化プロセスで使用する拡散炉の付属装置です。酸素中で水素を燃やすことにより、高純度の水蒸気を生成します。燃焼プロセスは外部の石英チャンバ内で行われるので、プロセスチューブのソースゾーンが水素炎の影響を受けることはありません。安全性は、出力をインターロックシステムに接続した火炎検出器により保証されています。このインターロックシステムは、H2とO2の流量比率および自然発火温度も監視しています。

    水素の自然発火温度までの加熱は、電気抵抗ヒーターによって行います。

    ■ 化学薬品制御パネル

    全体がプラスチックでできた専用の液体・気化ガス取扱供給システムは、流体を安全かつ清浄に取り扱うために、プロセス反応炉と媒質ソースの間のインターフェースとして開発されました。

    このパネルの重要な機能は、容器内の圧力の監視と、過圧時の自動排気です。使用点で用いる容器には、経済的な大容量の化学薬品ソースから詰め替えを行います。このような大容量の液体供給システムを用いることにより、膨大な数の小容量容器を取り扱う必要がなくなり、化学媒質を安全に、かつ自動で連続的に使用できるようになります。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor