TSI Incorporated

Singapore, 
Singapore
http://www.tsi.com
  • 小間番号3312


A warm welcome to TSI Inc. Visit us at booth No. 3312

TSI offers a comprehensive line of advanced aerosol instrumentation to measure and control contaminants in cleanroom applications. TSI’s offering includes the AEROTRAK™ Handheld, Portable and Remote Particle Counters, as well as Facility Monitoring Systems. 

In addition, we have Service Centers located throughout the world. Visit www.tsi.com for more information.


 出展製品

  • クリーンルーム用ナノパーティクルカウンタ(CPC/AeroTrak®9001)
    AeroTrak®9001はウォーターベースで大流量、超低偽計数レベルを実現した凝縮粒子カウンター(CPC)です。特に清浄度の高い重要な製造プロセス環境を測定するために開発されました。特許取得済みの技術により0.1CFM(2.83L /分)の流量で10nmの粒径感度を提供します。超低偽計数率(0.07個/CF未満)の性能はISOクラス1やクラス2の高い清浄度環境でも理想的な測定ができます。...

  • 機能・利点:
     〇最小検出粒径:10nm
     〇サンプル流量:0.1CFM(2.83L/min)
     〇偽計数:<0.07個/28.3L(1CF)
       ⇒低い偽計数レートにより清浄度の高い環境でも正確なデータを提供します。
     〇凝縮液として超純水またはDIウォーターを使用
       ⇒クリーンな環境に化学物質を排出しません。

    米国TSI社は1979年以来世界トップクラスの凝縮粒子カウンターを世界中の研究者や様々な研究機関等へ提供してきました。

    この度、新製品として超クリーン環境でもご使用いただけるウォーターベースの凝縮粒子カウンター「AeroTrak 9001」を発売しました。

    AeroTrak 9001はウォーターベースでは唯一の層流式トリプルディテクター搭載の革新的な構造により、偽計数率が非常に低く、大流量、幅広い自己診断機能によって超クリーン環境でも適正な測定ができます。

    また、高圧ディフューザ(HPD)AeroTrak7950 と併用することで高圧ガス中のナノ粒子の測定も可能となります。

    更に、AeroTrak 9001はクリーンルームの重要な製造プロセスを継続的に監視できるように連続6ヶ月間(24時間/日,7日/週)メンテナンスをしなくても連続測定ができる世界初のウォーターベースのクリーンルーム用CPCです。

    当然アルコールやその他の非ウォーターベースの凝縮粒子カウンターとは異なり、クリーンな環境に化学物質を排出しません。

  • ポータブルパーティクルカウンタ
    半導体工場で大きなシェアを誇るTSI社製パーティクルカウンタはラインナップが豊富で環境、用途に応じて最適なモデルをお選びいただくことができます。...

  • TSI 社製 パーティクルカウンター

    Model
    流量 粒径区分 タイプ
    9110 28.3L/min 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0μm ポータブル
    9310 28.3L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm
    9350 50L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm
    9510 28.3L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
    9550 50L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
    9500 100L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
    9303 2.83L/min 0.3/0.5(1.0/2.0/2.5)/5.0μm ハンドヘルド
    9306 2.83L/min 0.3/0/5/1.0/3.0/5.0/10μm
  • 清浄度(パーティクル)モニタリングシステム
    クリーンルームやパーティクルを制御したいストッカーや装置内の清浄度は常時モニタリングするのが最も良い管理方法です。ポイント数、対象粒径やコスト等に応じて、お客様の用途に合ったシステムをご提案します。...

  • 流路切替方式(マニホールド方式):

    パーティクルカウンタ1台で最大32ポイントを測定する切替え方式(マニホールド方式)のシステムです。マニホールドから各測定ポイントまでは最長100mまでのシステムが構築できますので広いクリーンルームの管理に最適です。

    常時モニタリング方式(センサ設置方式):

    各測定ポイントにパーティクルセンサを設置するシステムです。イーサーネット通信(MODBUS/TCP)を採用しており、センサへはPoE-HUBからの給電も可能なため、スマートなシステム設計が可能です。ポンプ内蔵センサや無線化オプション、アナログ出力(4-20mA)オプションもございますので、様々な環境、状況に応じたシステム構築が可能です。 測定データは専用ソフトを使えばグラフ表示・レポート作成・警報出力などを容易に行えますが、PLC等に取り込んで頂くことも可能です。パーティクルセンサより直接信号出力させるアナログ出力(4-20mA)仕様もございます。

    MODEL FLOW RATE PARTICLE SIZE RANGE INTEGRATED PUMP
    6310 1 CFM (28.3 L/min)  0.3 to 25 μm X
    6510 1 CFM (28.3 L/min) 0.5 to 25 μm X
    7110 1.0 CFM (28.3 L/min) 0.100 to 10.0 µm  
    7201 0.1 CFM (2.83 L/min) 0.2 to 10 µm  
    7301 0.1 CFM (2.83 L/min) 0.3 to 25 µm  
    7301-P 0.1 CFM (2.83 L/min) 0.3 to 50 µm X
    7310 1 CFM (28.3 L/min) 0.3 to 25 µm  
    7501 0.1 CFM (2.83 L/min)  0.5 to 25 µm  
    7510 1 CFM (28.3 L/min)  0.5 to 25 µm  

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, 半導体/Semiconductor