光洋サーモシステム

天理市,  奈良県 
Japan
http://www.koyo-thermos.co.jp
  • 小間番号7109

SiC、GaN、IGBTパワー半導体向け熱処理装置、MEMS用熱処理装置を紹介。

SiCパワー半導体向け熱処理装置(活性化、酸窒化、コンタクトアニール)や、
GaNパワー半導体、IGBTパワー半導体向け熱処理装置、MEMS、OLED用熱処理装置までご紹介します。
また、最新パッケージ技術のFan-Out用(FO-PLP)装置、面発光レーザー(VCSEL)の低温Wet酸化処理における他社には出来ない温度性能をご紹介いたします。
また、当社では各種デモ機も保有しており、プロセステストにも対応していますので、お気軽にご相談ください。