エムエス機器

大阪市淀川区三国本町,  大阪府 
Japan
http://www.technosaurus.co.jp
  • 小間番号5356

半導体製造装置用に設計・製造されたSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーをご紹介いたします。
このチラーは、高性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて高い製品です。

また、このチラーは以下の特長を持っております。
✔冷却水の消費量が1/3
✔雰囲気中への発熱量(エアコンへの負荷)が1/8
✔シールレスポンプなので水漏れトラブルの心配がない

他にもSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーを使う事によるメリットについて以下のような評価を受け、〝カイゼンチラー″として推奨されております。


✔小ボリューム密閉式タンクなのでフッ素系溶媒(ガルデン・フロリナート)のコストが大幅に削減
✔駆動部品がポンプだけなので突発故障が大幅に低減
✔モジュールパーツの採用により修理が容易でダウンタイムも大幅短縮
✔温度安定性が改善されたのでウエハーの品質が安定して歩留まりも向上
✔軽くてコンパクトで設置も楽々

是非、この機会にチラーのノンフロン化をお考え下さい。


 出展製品

  • プラズマエッチャーチラー 『ThermoRack1201』
    フロンガス不使⽤、プラズマエッチングに最適! 制御温度のばらつきを改善できます!消費電⼒も 削減できます...

  • 主要エッチャーメーカーに対応
    プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201』

    半導体製造⼯程のプラズマエッチングにおける温度制御チラー
    として最適にデザインされています。
    ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御⽅式
    で、素早い温度応答性と⾼い温度安定性で冷却加熱を制御しま
    す。±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを
    改善します。(First wafer effectの削減)また消費電⼒も従来の
    チラーに⽐べ、最⼤93%削減できます。モジュールは7個のペ
    ルチェデバイスで構成されており、たとえ1個の不具合が発⽣し
    た場合でも約85%の能⼒が維持されます。

    ■素早い温度応答性

    ■優れた温度安定性

    ■騒⾳・振動を低減

    ■フロンガス不使⽤

    ■Fluorinert Galdenに対応

    ■消費電⼒を最⼤93%削減

    ■19インチラックに収まる省スペース

  • ペルチェチラー『TCubeEdgeシリーズ』
    フロンガス不使⽤、低振動・低騒⾳・優れた温度 安定性優れたコストパフォーマンス...

  • ペルチェチラー 『TCubeEdgeシリーズ』

    冷却能⼒最⼤290 WのTCubeEdgeは、優れたた温度信頼性で接続機器のパフォーマンスを最適化して⾼い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環⽔の温度変化に素早く応答して0℃〜65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。

    ■ダイオード・半導体レーザー

    ■分析機器

    ■CCDカメラ

    ■粘度計

    ■化成品・ガス容器の正確な温度コントロール

  • ペルチェチラー『ThermoCubeシリーズ』
    フロンガス不使⽤、低振動・低騒⾳・優れた温度安定性豊富なオプションでカスタマイズ可能!...

  • ペルチェチラー『ThermoCubeシリーズ』

    冷却能⼒200 W、300 W、400 W、600 WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。コアとなる電⼦温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応します。

    ■半導体製造装置の温度コントロール

    ■レーザーの冷却

    ■ガス容器の温度コントロール

    ■スキャニング電⼦顕微鏡

  • 循環冷却装置『ThermoFlexシリーズ』
    コンパクト設計で24 kWまでの冷却能⼒を実現!多種多様なアプリケーションにフレキシブ...

  • 循環冷却装置  『ThermoFlexシリーズ』

    NESLAB ThermoFlexシリーズは、多種多様なアプリケーションにおいて、⻑期間・連続的に使⽤できるよう、強靱な冷却システムを搭載しております。配管類には漏れが無く、信頼性の⾼い配管システムを採⽤。標準装備のエアーフィルターや濾過フィルターは、メカニカルパーツの寿命を⻑持ちさせ、メンテナンスに要するコストを抑えることができます。

    ■±0.1℃の優れた温度安定性

    ■強⼒な循環ポンプを搭載(最⼤吐出圧0.69 MPaまで対応)

    ■冷却能⼒900 W〜24,000 W

    ■ヒートエクスチェンジャー搭載による⾼効率運転

    ■⼤きな注⽔⼝と⾒易いレベルインジケーター

    ■空冷式⽔冷式コンデンサーが選択可能

    ■通信インターフェイスをはじめ多様なオプションを⽤意

  • プラズマエッチャーチラー『NIKOLA3K/5K 』
    フロンガス不使⽤半導体製造⼯程のプラズマエッチングに最適!消費電⼒最⼤60%削...

  • プラズマエッチャーチラー  『NIKOLA3K/5K 』

    NIKOLA3K/5Kは最⼤5500 Wの冷却能⼒で±0.05℃の温度安定性を提供します。従来のチラーに⽐べて消費電⼒は60%も削減できます。駆動部は循環ポンプと冷却ファンの2つだけで、冷凍機を搭載していない為、⾼い信頼性と⻑寿命を誇ります。NIKOLA3K/5Kは消費電⼒を削減して、空調の消費電⼒も最⼤50%削減してフロンやその他冷媒を使⽤しない環境にやさしいチラーです。

    ■3000 W/5000 Wの⼤きな冷却能⼒

    ■消費電⼒を最⼤60%削減

    ■Fluorinert Galdenに対応

    ■冷却⽔使⽤量を最⼤50%削減

    ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計

    ■騒⾳・振動を低減