エムエス機器

大阪市淀川区三国本町,  大阪府 
Japan
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  • 小間番号5356

半導体製造装置用に設計・製造されたSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーをご紹介しております。
このチラーは、高性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて高い製品です。

また、このチラーは以下の特長を持っております。
✔冷却水の消費量が1/3
✔雰囲気中への発熱量(エアコンへの負荷)が1/8
✔シールレスポンプなので水漏れトラブルの心配もない

他にもSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーを使う事によるメリットについて以下のような評価を受け、〝カイゼンチラー″として推奨されております。
✔小ボリューム密閉式タンクなのでフッ素系溶媒(ガルデン・フロリナート)のコストが大幅に削減
✔駆動部品がポンプだけなので突発故障が大幅に低減
✔モジュールパーツの採用により修理が容易でダウンタイムも大幅短縮
✔温度安定性が改善されたのでウエハーの品質が安定して歩留まりも向上
✔軽くてコンパクトで設置も楽々

是非、この機会にチラーのノンフロン化をお考え下さい。