大塚電子

大阪市中央区,  大阪府 
Japan
http://www.otsukael.jp
  • 小間番号3866

光を媒体に、数ナノから数ミリメートルの膜厚測定をスタンドアローンからインテグレーションタイプの装置を一挙に紹介。

大塚電子は、光を媒体とした技術で、常に時代の最先端を行く分析機器・計測機器メーカです。

ウェーハ、フィルム、電子材料からの要望に応えるべく 非接触・非破壊の膜厚装置 を出展いたします。

(1)数ナノメートルから数ミリメータの 膜厚 を対象に

(2)数ミクロンメートルからの 測定スッポトサイズ を対象に

(3)測定場所を スタンドアローン、インテグレーション、インライン を対象に

(4)膜厚値ダイナミックレンジ6桁を有する計測装置を更に対象に加え

前工程ゾーン・Hall1の小間番号1738で出展しております。是非ともお立ち寄りください。

また、14日(金)16時00分より、東4ホールで開催されます出展者セミナーでは、「製造工程におけるin-situin-lineについての新たな膜厚検査のご紹介」の内容を予定しております。