Evatec

Trübbach, 
Switzerland
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  • 小間番号5334

Thin Film Powerhouse へようこそ

BAK真空蒸着装置及びCLUSTERLINE®スパッタ装置は、アドバンスドパッケージング、通信、パワーデバイス、光通信、MEMS、フォトニクス、の分野で使われる弊社の主力製品です。お客様のプロセスや処理能力に合わせて、バッチ式、クラスタ式、インライン式のプラットホームを提案致します。弊社のコアマーケット全般に渡る最新の開発情報を提示しております。HEXAGONFOWLP向けのハイスループット装置であり、また通信デバイス製造向け用として8インチ個別チャンバー式装置として運用されます。CLUSTERLINE®製品群はスパッタ、PECVD、エッチング可能な200300mm対応機です。CLUSTERLINE® 200 IIによる、MEMSや通信デバイスに使われる高圧電係数材料であるAlScNの膜付けから、CLUSTERLINE® RADによるLED向けTCODBRのハイスループット膜付けまで対応しています。SOLARLISではチップレベルでのハイスループットEMIシールディングが可能です。