クリーンアクト

大田区,  東京都 
Japan
http://www.cleen.jp/
  • 小間番号8007

・AsH3/PH3を対象とした高輝度LED・LD化合物半導体用乾式排ガス処理装置

・大流量NH3(GaNプロセス等)を対象とした触媒燃焼式排ガス処理装置

・各種排ガス処理装置(乾式・大気圧プラズマ・燃焼)

・排気生成物トラップや危険性の高い高純度ケミカル供給ユニット