クレステック

八王子市,  東京都 
Japan
http://www.crestec8.co.jp/index.html
  • 小間番号5338


電子線描画装置メーカーのクレステックです。受託描画サービスも行っております。お気軽にお立ち寄りください。


 出展製品

  • CABL-9000C(50kV)series
    ベストセラーであるEB描画装置CABL-9000Cシリーズは0.01nmレベルでのピッチ制御を実現し、通信分野におけるDFBレーザーデバイスの製造でトップシェアの実績があります。またスループットは当社比で1/3の時間に短縮することを達成しました。EB描画による受託加工サービスも行っております。 お気軽にお問合せください。...

  • 通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に最適なモデル。微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた、50kV加速電圧を採用した主力製品です。
    ビーム径:2nmΦ以下
    最小線幅:10nm以下
    加速電圧:50kV, 30kV
    ステージ:4インチ, 6インチ, 8インチ対応

    特徴

    ・通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に最適なモデル
    ・従来より一層の簡易操作性と機能性を付加したマルチユーザー対応
    ・WindowsベースのオリジナルCADGDSⅡおよびDXFに対応(オプション)
    ・単結晶ZrO/Wを採用したTFE電子銃
    ・加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現
    ・高いつなぎ精度、重ね合わせ精度
    ・抜群のビーム電流安定性、ビーム位置安定性
    ・フィールドサイズ変調ユニット 特許登録済
     (0.0012nmの最小アドレスサイズを実現)

    ・チャープト周期回折格子の製作も可能
    ・装置恒温システム