神津精機

川崎市麻生区,  神奈川県 
Japan
http://www.kohzu.co.jp/
  • 小間番号2429


ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。

小口径から大口径ウエハまで測定可能で、自重(外力)補正を行う真の形状測定をはじめとして様々なSEMI規格に対応する非接触形状測定システム【Dyvoce(ダイボス)】を実機展示し、デモンストレーション動作を行っています。また、形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析するソフトウェアも紹介。


 出展製品

  • カセット対応自動表面形状測定装置
    GEM通信可能なカセット対応のウエハ反り・厚さ測定装置です。 ...

  • カセット対応のΦ300ウエハ向け反り・厚さ測定装置になります。

    様々なSEMI規格の測定項目にも対応し、TAIKOウエハ・張り合わせウエアなどの測定も可能です。

  • 応力解析ソフトウェア
    形状データから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析しカラーマップ化を行うソフトウェア。...

  • 神津精機製の形状測定装置での形状データから、ウエハの応力を解析し、カラーマップ化まで行うソフトウェアです。