インフィコン

川崎市高津区,  神奈川県 
Japan
http://www.inficon.jp/
  • 小間番号6363


インフィコンは真空計測器ならびに半導体産業むけのセンサ技術、プロセス制御ソフトウェア取り扱うリーディングカンパニーです。

  • リークディテクター:新製品デモ実演!! 高速測定で時間を節約するインテリジェント機能(I-CAL, HYDRO-S, I-ZERO)搭載モデル。
  • 質量ガス分析計:各種真空装置の残留ガス分析、半導体各種プロセスPVD・CVD・ETCHプロセス対応の先進モデルをラインナップ。
  • 膜厚計(水晶振動子):5MHz、6MHzのラインナップはもちろん、様々な環境にマッチした水晶振動子を提案。他社製からの置き換え提案も可能。
  • 真空計:コンベクションピラニゲージ、ヌードゲージ、見やすいディスプレイ付真空計。限られたスペースに小型な真空計。急激な圧力変動を捉える高速応答性隔膜真空計。磁場漏れなしの冷陰極ゲージ(特許取得)。EtherCAT対応真空計。


 出展製品

  • キャパシタンスダイアフラムゲージ
    インフィコンの真空計測技術は150年以上の歴史を持つ真空計分野では世界のトップブランドです。幅広い製品群や技術および費用効果に優れたソリューションにより、あらゆる産業や半導体アプリケーションで採用されています。...

  • インフィコンの CDG キャパシタンスダイアフラムゲージは、 過酷な製造装置環境において長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。 耐腐食性超高純度セラミックセンサーは優れたゼロ点と計測スパンの長期安定性、温度安定性を提供します。独自のセンサーシールドはプロセス副生成物から真空計を保護します。 インフィコンでは、クラス最小サイズの Porter から、超高速応答性能を持つ Stripe、200℃ プロセスゲージや、素晴らしい安定性を誇るリファレンスゲージ Cube まで、フルラインの CDG を取り揃えています。
  • Transpector CPM3
    インフィコンが提供する各種 RGA は、各種プロセスガス中の不純物及び混合ガスの変動を極めて高い感度で検出することができる、リアルタイム・プロセスモニターです。...

  • CPM3 コンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量ガス分析計で、複合プロセスの In-Situ モニターリングに最適です。エッチングや CVD など、一部の複合アプリケーションで使用される高腐食性ガスに対応するため、HexBlock のインレットは316ステンレス鋼のブロックから削り出し、ポンプも耐腐食性のものを採用しました。また、過酷な環境でも長寿命を確保できるように、イオン源にはクローズドイオンソース(CIS)を使用しており、sub-ppmレベルで汚染物質の検出が可能です。優れたクリーニング・エンドポイント・ディテクターとしてもご使用いただけます。
  • FabGuard
    FabGuard は、FDC(Fault Detection and Classification) 機能と強力な解析ツールおよびインフィコン製センサーを統合することで、半導体製造装置の状態監視からプロセス分析まで幅広く対応しています。...

  • FabGuard の FDC は高度な手法を活用してオンライン・リアルタイムかつ Run-by-Run ウェハ1枚単位で不良を検出・ 分類することにより、 エンジニアがプロセスと装置の挙動を実質的にあらゆる側面から速やかに解析できるシステムです。 不良ウェハを無くすとともに装置や設備のモニタリングによって予定外のダウンタイムを削減して歩留まりの向上に貢献します。トラブル解析にはデータベースに収集した Run データへドリルダウンできる便利なツールも活用できます。
    FabGuard の機能: Enterprise Fault Detection and Classification, SPC, RMS, eOCAP, APC, SubFab/Facilities Monitoring
  • FPS
    FPS 統合 DB(Digital Twin Fab optimization software)は工場のデータの統合 DB (デジタルツイン)を構築してスマートファクトリーを実現します。...

  • FPSは①製品着工順の自動決定して、一日の作業予定を可視化 ②スループット優先、リードタイム優先などをオペレータレベルで簡単設定可能 ③スケジュール結果に応じて人に棚・装置への搬送指示 ④リアルタイムで、生産設備状況と仕掛の状況(問題点)を表示 ⑤ロットの近未来の着工パス状態と、ロット完成までの進捗を可視化 ⑥装置能力の算出と、インプット計画で負荷予測 ⑦情報メンテナンスフリー:着工来歴から製品フローや装置割付けは自動修正が可能です。
    FPSの機能: Advanced Scheduling, Comprehensive Visualization, Capacity Management
  • UL3000 Fab
    ヘリウムリークディテクター UL3000 Fab (PLUS) は、半導体関連用途でのリークテスト用に設計されています。...

  • インフィコンの可動式ヘリウムリークディテクターは、試験の柔軟性、高感度、素早く正確な結果、クイックスタート、可動性、システムの信頼性といった半導体の厳しい要求事項を満たすよう特別に設計されています。また、進化した真空システムによって、大気圧からのリーク検出が可能になりました。スリムなデザイン、低い重心、大きなホイール、人間工学に基づいて設計されたハンドル等によって、UL3000 Fab (PLUS) は、狭いスペースでも高い移動性を実現しています。