三友製作所

日立市,  茨城県 
Japan
http://www.sunyou-ss.co.jp/
  • 小間番号5562

【展示製品紹介_卓上プラズマエッチング装置】

LSIの局所的な配線露出、Si基板の局所薄片加工が可能な卓上型のプラズマエッチング装置の実機を展示します。

ポリイミド層のエッチングであれば会場でテスト加工も可能です。

テスト加工にご興味のある方はぜひサンプル持参の上ご来場下さい。

【部分研磨装置】

パッケージの部分開封や基板の局所切削・研削・研磨が可能な部分研磨装置を展示します。

【展示製品紹介_ナノマニピュレーションステージ】

PZT素子のインパクト駆動によりミリストロークとナノ分解能を両立した

直交3軸のマニピュレータの実機を展示します。

【展示製品紹介_ミニマルマイクロプラズマエッチング装置】

ミニマルファブ用のマイクロプラズマエッチャーの実機を展示します。