入江工研

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.ikc.co.jp
  • 小間番号5138


シール方向切り替え可能な真空用ゲートバルブの特許を取得しました。 生産を継続したままメンテナンスができる優れものです。

シール方向切り替えゲートバルブ(特許取得済み)

片側だけではなく、両側どちらもシールできる構造になっています。通常稼動時は勿論の事、メンテナンス時にもトランスファーチャンバー側を真空保持したまま弁板のOリングを交換することができ、生産を継続することが可能です。(現品展示)

無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ

150℃、1.5~12時間のベーキングで水素(H2)や一酸化炭素(CO)を排気する非蒸発ゲッターポンプです。大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません。非蒸発型ゲッターポンプは、加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして最適です。

また、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。(参考出品)

昇降用溶接ベローズ

半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。(現品展示)


 出展製品

  • シール方向切り替えゲートバルブ(特許取得済み)
    片側だけではなく、両側どちらもシールできる構造になっています。通常稼動時は勿論の事、メンテナンス時にもトランスファーチャンバー側を真空保持したまま弁板のOリングを交換することができ、生産を継続することが可能です。(現品展示)...

  • ●弁板の両側にO リングを設置しています。通常はP/C 側にシールする弁板がO リング交換時はT/C側にシールします。T/C 側の真空を保持したままP/C 側の弁板O リングを交換できます。
    ●従来機構と同一面間寸法で両方向シール機構を実現、お客様装置のコンパクト化に寄与します。
    ●無摺動機構の採用でパーティクルの発生を最小限に抑えました。
    ●カム方式のシール機構により安定したシール性能、低振動を実現しました。
    ●当社製ベローズを搭載し長寿命を実現しました

  • 無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ
    150℃、1.5~12時間のベーキングで水素(H2)や一酸化炭素(CO)を排気する非蒸発ゲッターポンプです。大気開放と活性化を繰り返しても排気速度が低下しません。非蒸発型ゲッターポンプは、加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして最適です。 また、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。(参考出品)...

  • ●100℃~ 150℃のベーク後に非蒸発ゲッターポンプとして残留水素(H2 ガス)を排気します。
    ●排気の原理:Pd/Ti 薄膜が室温ではH2 を吸収し、100℃~ 150℃ではH2 を放出することを利用します。
    ●Pd で覆われているので、大気導入とベークを繰り返しても排気性能は劣化しません。
    ●超高真空領域の差動排気に最適です。
  • 昇降用溶接ベローズ
    半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。(現品展示)...

  • 溶接ベローズの昇降をモーターを利用した自動機構にてご紹介致します。