エヴァンリード

江東区青海,  東京都 
Japan
http://evanlead.com/
  • 小間番号5373


半導体製造装置のコストダウンサービスで業界をリードして参りました。今後も更に拡大して参りますので乞うご期待願います。

弊社は、露光装置を筆頭に下記半導体製造装置の再生販売、インチ改造、移設立上げ、輸送と搬出入、無害化廃棄等において、安価で高品質なサービス提供が実現できており、業界大手のお客様からも表彰されております。

①ステッパー・コーターデベロッパー 3インチ~12インチ

②WET・DRY ETCH・LP-CVD 6インチ~12インチ

③CD-SEM 8インチ

今後は新たにppbクラスの低濃度汚染ガスの分析システムをオリジナル製品として提供して参ります。

このシステムの特徴は、今後益々微細化する汚染ガスの検出精度と共にクリーンルーム内の管理が重要となる中、下記内容に特化しております。

① 汚染ガス発生から警報までの時間をリアルタイムモニタリングにより、最小限

  に収めることが可能

② クリーンルーム内において任意の空間分析が可能

③ システム1式に対し、多点(最大16点)での分析が可能

④ 分析ポイントはシステムから最大で100mの距離まで分析が可能

⑤ 歩留まりとの相関データベース構築により、生産効率の高い半導体生産管理

  システムのデータベースが構築され、次期工場建設時にそのデータベースを

  活用することにより短時間で歩留まり率の高い工場の立ち上げが可能

現状のサービスにご満足頂けないお客様は是非一度

弊社にご相談いただけますと幸いです。


 出展製品

  • 【極微量汚染ガスリアルタイム多点測定システム(FAMS) 】
    クリーンルーム内の製品への影響のある各種汚染ガスを高感度で リアルタイムに多点測定可能なシステムです。管理が必要な各ガス種を ppbオーダーで連続的に自動測定します。工場内に自由にサンプリング ポイントの配置が可能です。各検知ポイントでの分析データをオンラインで工場のEESネットワークと接続し、クリーンルーム内の環境を統合管理することが可能となります。 ...

  • 本装置は最先端の各種管理必須ガス種の高感度ガス分析器と多点ポイントをリアルタイムでデータ取得できるユニットで構成された、全自動の高感度ガス多点分析システムです。

    クリーンルーム内の空間に自由に測定ポイントを設置する事が可能です。

    また、分析器は連続自動測定が可能なので、サンプリングから測定結果の抽出までを短時間でリアルタイムにモニタリングする事が可能となります。

    測定対象ガスは半導体生産の中で必須管理対象となる各ガス種です。それらをppbレベルの濃度で検出します。さらにオンラインで工場のEESネットワークと接続し、クリーンルーム内の環境を統合管理する事が可能になり、製品のYield管理支援ツールとして活用できる他、次期工場新設時にDB情報を有効活用する事で高いYield生産の早期立上げの実現が可能となります。

     

    装置の特徴

    ① 分析器16台分の分析機能を1台で行える仕組みを持つ(コスト削減効果)

    ② 特殊ノウハウにより最長100m迄の範囲で自由に検出場所を設定可能

     (高さやCRリターンエリア、天井直下等、場所を選ばず検出箇所の分析が可能)

    CR内ケミカルフィルターの性能寿命(ライフ)管理が可能

    ④ 検出精度はイオンクロマトグラフィと同等以上で且つリアルタイムモニタリン

      グが可能

    ⑤ 各管理必須ガス種のppbレベルでの異常ガスモニタリングに対応可能

    CR全体のYield管理支援ツールとして次期工場新設時にDB情報を有効活用する

         事で高いYield生産の早期実現が可能

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  • 【半導体装置(前工程)コストダウンサービス】
    半導体製造装置(前工程)の中古装置販売、移設立上げ作業、部品の再生修理、下記装置のコストダウンサービスを提供致します。 ...

  • ➀ ステッパー

       ・中古装置のご要求仕様への仕様変更、再生、出荷前動作テストを含む再生装置販売及び

      立ち上げ作業

     (専用クリーンルームにて出荷前立会い検査)

     ・R22→R407Cへの冷媒ユニットの仕様改造

       ・光学系コストダウン部品の販売(セカンド品の販売)

       ・部品再生修理(装置実機搭載して動作確認してから出荷)

       ・Si→Sicへの仕様変更

       ・移設立上げ作業/Inc調整/露光パワー改善作業

    ➁ コーターデベロッパー

       ・中古装置のご要求仕様への仕様変更、再生、出荷前動作テストを含む再生装置販売及び

      立ち上げ作業(専用クリーンルームにて出荷前立会い検査)

       ・R22→R407Cへの冷媒ユニットの仕様改造/低粘度→高粘度、溶媒化改造

       ・移設立上げ作業(プロセス条件出し含む)

    ➂ 洗浄機

       ・無害化作業(分解洗浄)/移設立上げ作業

       ・部品引き取り修理

       ・トラブルシューティング/メンテナンストレーニング

    ④ CD-SEM

       ・中古装置のご要求仕様への仕様変更、再生、出荷前動作テストを含む再生装置販売及び

      立ち上げ作業(専用クリーンルームにて出荷前立会い検査)

       ・移設立上げ作業

       ・専用除振台及び磁場キャンセラ(新品)

       ・6、8兼用仕様改造

       ・トラブルシューティング/メンテナンストレーニング

    ⑤ DRY ETCH/LP-CVD/拡散炉

       ・中古装置のご要求仕様への仕様変更、再生、出荷前動作テストを含む再生装置販売及び

      立ち上げ作業(専用クリーンルームにて出荷前立会い検査)

       ・移設立上げ作業

       ・トラブルシューティング/メンテナンストレーニング

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  • 【半導体製造装置(後工程)エンジニアリングサービス)】
    半導体製造後工程装置(ボンダ・フリップチップボンダ)並びに表面実装機(SMT)における生産現場にてお困り・お悩み頂いている事例について、製品やソリューションのご提案、メンテナンスなどの技術的な対応を含め、長年の実績及び経験、装置メーカとの連携により、装置メーカ同等のサービス提供を含め幅広い対応が可能となり、お客様のご要望にお応え致します。...

  • ① 生産能力向上
       ・実装基板データ作成最適化

       ・部品吸着及び部品認識状態最適化

       ・フィデューシャルマーク認識補正最適化

       ・基板搬送コンベア状態確認

    ② 搭載精度能力向上

       ・実装基板データ見直し

       ・部品認識情報見直し

       ・フィデューシャルマーク情報見直し

       ・搭載精度測定及び分析

       ・搭載精度補正調整

       ・基板固定状態確認

    ③ 設備据付け及び移設

       ・工程レイアウト変更時の移設対応

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