エスオーエル

戸田市,  埼玉県 
Japan
http://www.sol-j.co.jp/
  • 小間番号5157

測定の様子を常設動画でご覧いただけます。


 出展製品

  • FlatMaster-Semi Auto Wafer
    ウェーハ用平面度測定機...

  • 米国Corning Tropel社製のウェーハ用平面度測定機。

    サンプルセットして解析までを約30秒で完了し、0.1µm以下の精度も保証します。

    チャック交換不要のユニバーサルチャックを採用している為、ウェーハのサイズや吸着/非吸着に1枚で対応可能です。

  • UltraSortⅡ
    ウェーハ用平面度測定機(自動機)...

  • 米国Corning Tropel社製の平面度測定機。

    1時間で最大150枚の吸着・非吸着同時測定が可能な自動機です。

    従来機の機能に加え、カセットの増設やオンライン化など、柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。