スピードファム

綾瀬市,  神奈川県 
Japan
http://www.speedfam.com
  • 小間番号4051

当社は、長年に渡る豊富な実績と経験により、お客様に最適な研磨装置、消耗副資材、検査装置などの統合プロセスを提案いたします

スピードファムグループは、半導体材料であるシリコンをはじめ、GaAs、InP、SiC、サファイア、酸化物、水晶、セラミクス、硝子、金属等の幅広い加工物を対象とした、精密ラップ装置、精密研磨装置、エッジ面取り装置、エッジ研磨装置、超薄物平面加工装置、光学式ウェーハエッジ検査機、および高精度で膜厚平坦化と膜厚均一化を実現する数値制御ドライ平坦化装置を出展しています。
装置に加え、消耗副資材として研磨剤、研磨布、キャリア等を自社開発し、装置・消耗副資材・プロセスの多方面から顧客のニーズにお応えします。