CKD

名古屋市中区,  愛知県 
Japan
https://www.ckd.co.jp
  • 小間番号7513


今回の展示会では最先端プロセスニーズに対応した製品を一挙展示します。 ぜひ、当社のブースへお越しください。

半導体・液晶などの電子デバイス産業は進化し続けており、製造環境、製造装置、使用機器全てにクリーン化が要求されております。半導体・液晶関連装置の供給系から排気系まで使用される機器バリエーションを揃え、進歩を続ける電子デバイス産業を支えるため、限りないクリーン対応、"最先端プロセス制御"に向けて挑戦を続けていきます。


 出展製品

  • 薬液用エアオペレイトバルブ
    薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。 幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。...

  • 【使用圧力の範囲を拡大】新シール構造により、使用圧力範囲を拡大。A・Bポートの使用圧力を共通化。

    【酸・アルカリ問わず対応可能】耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」をアクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、標準で幅広く対応可能。

    【流体温度を拡大】標準品の使用流体温度範囲を大幅に拡大(Max. 120℃)。弁の開閉を信号で確認できるセンサ付をオプション化。

    http://www.ckd.co.jp/kiki/jp/product/list?cid=105&sid=0

  • 高温・高耐久ガスバルブ
    微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。 お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。...


  • 【高耐久、高応答、安定性能を実現】業界No.1の最高1億回動作耐久性。Cv値・応答性の長期安定性確保。


    【AGD-HDシリーズ】耐久性:1000万回保証(実績値:3000万回)、集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)、単品バルブ対応可能。

    【AGD-HDFシリーズ】
    耐久性:1000万回保証(実績値:3000万回)、高温対応:~200℃、集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)、単品バルブ対応可能、応答安定アクチュエータ搭載

    【AGD21R-Aシリーズ】耐久性:3000万回保証(実績値:1億回)、流体温度:150~200℃対応、集積化ガス供給システムに対応(1.5inch)、応答安定アクチュエータ搭載、高Cv値:0.4以上バルブ対応可能、応答安定アクチュエータ搭載http://www.ckd.co.jp/kiki/jp/product/detail/116/AGD?t=list&cid=112&sid=0

  • 真空圧力制御システム
    従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。...

  • 【スロー排気制御が可能】
    一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現。

    【圧力制御機能の追加】
    信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。真空時の圧力調整に、レギュレータやバリアブルリークは不要。ポペット弁方式の採用により、バタフライバルブが苦手とする全閉動作を、Oリングシール構造で実現。
     

  • 薬液用マニュアルバルブ
    薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。...

  • 【使用圧力範囲を拡大】
    従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。A、Bポートの使用圧力を共通化。

    【使用温度範囲を拡大】
    材質の見直しによる高温対応。

    【シール部破損防止】
    締め付け防止機構付きハンドル:シールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰締め付けを防止。

    【誤作動防止】
    ロックリング:ロック機構・カバー機構により意図しない開閉を防止。