ハーモテック

甲府市住吉,  山梨県 
Japan
http://www.harmotec.com
  • 小間番号2126


薄物・特殊ウェーハ(極薄・反り・歪み)搬送に関して20年以上の歴史と多くの実績により、顧客の問題解決にお役立ちします。

☆「特殊ウェーハ搬送問題を解決します!」

一般的に取り扱いが困難とされる、極薄・反り・歪み・微細加工(穴あき)・両面デバイスウェーハの搬送問題を解決いたします。

ロボットハンド用FORK、ステージ間搬送用CIRCLE、ウェーハ矯正ステージ用CIRCLE等、様々なハンドを取り揃え、顧客殿のウェーハ搬送の目的やウェーハの癖に合わせて全てのハンドをご提案いたします。

☆ウェーハ搬送装置のご提案

KUMADEハンド同様、顧客仕様、顧客のウェーハに合わせて全ての装置をご提案いたします。

特殊ウェーハに特化した長年の実績により、累積87台のウェーハ移載装置・梱包装置(2~12インチ)の実績が有ります。

☆ドライクリーニング装置のご提案

ウェーハプローブ工程前にウェーハ上の異物クリーニングを行います。

本装置の導入によりプローブ工程での不良率低減、及びプローブカードの破損を未然に防ぎます。

☆ウェーハマクロ検査装置のご提案

特にウェーハ出荷前で表裏目視検査が可能でありながら、更に並び替え機能を付加し出荷前のウェーハ検査にて活用いただいております。


 出展製品

  • 特殊(極薄・反り)ウェーハ搬送用ロボットハンド【KUMADE】
    一般的に取り扱いが困難とされる、極薄・反り・歪み・微細加工(穴あき)・両面デバイスウェーハの搬送問題を解決いたします。...

  • ロボットハンド用FORK、ステージ間搬送用CIRCLE、ウェーハ矯正ステージ用CIRCLE等、様々なハンドを取り揃え、顧客殿のウェーハ搬送の目的やウェーハの癖に合わせて全てのハンドをご提案いたします。

  • ウェーハ移載・搬送装置
    KUMADEハンド同様、顧客仕様、顧客のウェーハに合わせて全ての装置をご提案いたします。 特殊ウェーハに特化した長年の実績により、累積87台のウェーハ移載装置・梱包装置(2~12インチ)の実績が有ります。 ...

  • ウェーハマクロ検査装置

    ウェーハ出荷前で表裏目視検査が可能でありながら、更に並び替え機能を付加し出荷前のウェーハ検査にて活用いただいております。

  • ウェーハクリーニング装置
    ウェーハプローブ工程前にウェーハ上の異物クリーニングを行います。...

  • 本装置の導入によりプローブ工程での不良率低減、及びプローブカードの破損を未然に防ぎます。