大阪真空機器製作所

Chuo-ku, Osaka,  Osaka 
Japan
http://www.osakavacuum.co.jp
  • 小間番号8219

今回の出展テーマは『ポンプのIoT対応』です。
IoT社会の実現に向け、データセンター・生体認証・ロボット・AI・スマートフォン・再生エネルギー等のハイテク分野において半導体・FPD・電子部品・LED・太陽光パネルの需要が増えてきており、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。また、その真空環境を作り上げるために必要な真空ポンプにもIoT対応が必要だと考えています。
 
これらの産業の製造工程では、成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等がありターボ分子ポンプとドライポンプが不可欠です。その不可欠とされているターボ分子ポンプTGkine4200MI(反応生成物対策仕様)、TGkine3400M-R ・TC0331M(EtherCAT対応・高負荷対応仕様)、TG420ML(極低振動仕様)とドライポンプDSP50・DSP251・ER100Dなどを実機で展示いたします。
 
皆様のご来場を心よりお待ちしております。