DKSHジャパン

Tokyo, 
Japan
http://www.dksh.com
  • 小間番号5568

DKSHジャパンでは、ウエハー品質管理向上へ表面裏面検査・計測機をご提案いたします。皆さまのご来場をお待ちしております。

DKSHジャパン株式会社は、1865年(慶応元年)に横浜で創業し、日本の産業と文化の発展に貢献してきました。 2015年に創業150周年を迎えており、世界37ヵ国に825拠点を有するスイスのグローバル企業「DKSHグループ」の一員です。

当展示会では、仏・UnitySC社、及び、独・HSEB社の検査・計測機をご紹介いたします。 

  • パワーデバイス製造プロセスでの裏面CMP研磨、薄化プロセスにおける裏面欠陥検査装置 (表面・裏面同時検査)。
  • SOI・EPIウエハー製造工程でのスリップライン検査機
  • 後工程向けウエハー出荷前検査 (OQC)
  • TSVなど高アスペクト比のトレンチ計測
  • バンプコプラナリティー自動検査
  • ウエハー研磨工程におけるTTV計測・管理
  • エッジ自動検査機

インライン、オフライン、開発用途等、目的に合わせたご提案を準備しております。

また太陽電池を製造するお客様には、独・Meyer Burger Germany 社のAlOx、SiN等を成膜するPERC用PECVD、及び、PVD装置を提供しております。 HJT (ヘテロジャンクション) 技術による高効率な太陽電池セルを製造するお客様へは、高スループット、高い歩留まり、Cost of Ownership に優れたPECVD、及び、PVD装置を提供しております。

ぜひ当社ブースへお立ち寄りください。 皆さまのお越しをお待ちしております。