ジャステム

長岡市,  新潟県 
Japan
https://www.justem.jp/
  • 小間番号5764


ご覧いただきありがとうございます。 特注装置をお求めならジャステムへお任せ下さい。

当社は、多岐に渡る半導体製造プロセスにおいて、

ウェハ製造~半導体の前工程で使用する検査・測定装置ならびに移載装置に特化した専門メーカーです。

数あるプロセスの中でも、同領域で必要とされる装置の設計・製造ノウハウを蓄積することで、他社では真似できない、お客様の要望に合わせたオーダーメイド装置を実現しています。

特に、スタンドアローン装置(自動・手動)を得意とし、お客様がすでに保有されているプロセス装置では担うことができない工程の効率化・省人化の提案が可能となっています。


 出展製品

  • ウェハ目視検査 顕微鏡ローダー
    ウェハの目視検査を行う際に、ウェハの供給を手動から自動化へと置き換えを行った装置となります。目視検査に注力できるために測定効率の大幅な向上が実現可能となります。...

  • ①搬送方法     :マッピング機能付き4軸水平多軸、ツインアームロボット

    ②検査位置     :付属PCによる多点レシピ検査

    ③カセットステージ数:1個(SMIFも可能)、着座、識別センサ付き

    ④タクト      :①カセット取出→ミクロ検査部 24sec

                              ②ミクロ検査(5点確認)    30sec

               ③ミクロ検査部→マクロ検査部 14sec

               ④マクロ検査(裏面含む)     20sec

               ⑤マクロ検査部→カセット収納 16sec

    Total 104sec/枚

    ⑤アライメント   :光学センサ(精度±0.1mm、±0.1°)

    ⑥付属機器     :イオナイザ

    ⑦マクロ検査    :θ軸+あおり軸、反転機能、LED照明

    ⑧測定ステージ   :マクロ検査 ベルヌーイ、反転吸着ハンド

               ミクロ検査 ポーラスチャック

    ⑨オプション    :HOST通信、対物2.5×、真空ポンプ排気

  • ウェハ厚さ測定装置_TypeB
    こちらは搬送ロボットによる厚さ測定の省力化を実現した厚さ測定装置となります。...

  • ①搬送方法     :4軸水平多軸

               シングルアームロボット 

    ②測定位置     :付属PCによる多点レシピ測定

               (ライン測定可能)

    ③タクト      :104sec/枚(5インチ32点測定時)

               搬送+アライメント含むタクト

    ④カセットステージ数:2個

               マッピング、着座、

               飛び出しセンサ付き

    ⑤アライメント   :画像処理システム(精度±10μm)

    ⑥付属機器     :FFU、イオナイザ

    ⑦測定器      :分光干渉センサ

    ⑧測定ステージ :外周吸着式(外周3mm)

    ⑨測定精度   :10回繰り返し測定 標準偏差=0.1μm

    ⑩導入事例   :小径デバイス付きウェハの厚さを測定したい

    ⑪検討可能   :搬送方法、カセットステージ数、

             ワークサイズ、測定機器、HOST通信

  • ウェハ 厚さ測定装置
    ウェハの製造工程ならびに半導体製造メーカーの前工程プロセスで使用されるウェハの厚さ測定の自動化装置となります。測定方法(機構として)は、非接触式で「レーザー方式」「分光干渉式センサー方式」「静電容量方式」に加え、接触式による測定手法の提案が可能となっています。 ...

  • ①搬送方法     :電動スライダー5軸組合わせ

    ②測定位置     :付属PCによる多点レシピ測定

               (ライン測定可能)

    ③タクト      :36sec/枚(6インチ5点測定時)

                                        搬送+アライメント含むタクト

    ④カセットステージ数:2個

               マッピング、着座、

               飛び出しセンサ付き

    ⑤アライメント   :変位センサ

               (精度±0.1mm、±0.1°)

    ⑥付属機器     :FFU、イオナイザ

    ⑦測定器      :分光干渉センサ

    ⑧測定ステージ :ポーラスチャック(裏面吸着)

    ⑨測定精度   :10回繰り返し測定 標準偏差=0.1μm

    ⑩導入事例   :多品種のワークを測定したい

             薄厚ワークを測定したい

    ⑪検討可能   :搬送方法、カセットステージ数、

             ワークサイズ、測定機器、

             検査結果3Dマップ表示

  • 全自動UV照射装置
    ウェハの製造プロセスで使用するUV照射機と連動した省力化装置となります。...

  • ①搬送方法      :搬送ハンド

    ②照射位置      :18カ所(6箇所×3段)

    ③タクトタイム    :20sec/枚(搬送のみ)

    ④カセットステージ数 :LD/ULD兼用 1個

                                           着座、飛び出しセンサ付き

    ⑤照射枚数      :6枚毎

    ⑥オプション     :ランプ切れ警報機能 

    ⑦照射履歴機能    :有り(日付、開始/終了時間、Slot No等)

    ⑧導入事例      :UV照射器に自動搬送を設けたい

    ⑨検討可能      :カセットステージ数、ワークサイズ、

                UV照射機

  • ウェハのカセット取り換え 手動 一括移載機
    こちらは、ウェハのカセット取り換え 手動 一括移載機となります。...

  • ①搬送方法      :手動搬送

    ②カセットステージ数 :1個(カセット内ワーク向き統一)

    ③接触箇所材質    :PEEK

    ④特殊機能      :カセット天地逆置き可能、

                一部ポカ除け対策

    ⑤オプション     :カセットステージ数変更

    ⑥導入事例      :簡易的にウェハを移載したい

                カセット内ワークの擦れを抑えたい等

    ⑦検討可能      :自動化、ワークサイズ変更