カナメックス

厚木市,  神奈川県 
Japan
http://www.kanamex.co.jp
  • 小間番号7417


当社クリーンルームにて各種デモが可能です。 営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。

設計・製造・技術の要

株式会社カナメックスです。

実機出展

・縦型両面スクラブ洗浄装置

 φ6インチ対応 ウエハを垂直に立てた状態で両面を同時にスクラブ洗浄行います。

 除去した異物は重力と遠心力によりウエハ外へ排出され、再付着を防止します。

 各種洗剤スプレーと超音波洗浄の組み合わせで研磨屑やスラリ残渣を除去します。

 スループット 25枚/H

 枚葉スピンとの組み合わせで精密洗浄・乾燥まで自動で行えます。 

 

・枚葉式スピン洗浄装置

 ウエハ表面の薄膜をケミカルでライトエッチングし、

 洗剤や純水で物理洗浄(ブラシやメガソニックなど)、

 純水リンス後、溶剤で置換しN2ガスブロー併用でスピン乾燥させます。

 ウォーターマークレスでの乾燥が可能です。 省薬液で低環境負荷の処理が行えます。

 スピンチャックはウエハ外周ピン保持とバキューム保持と切り替えが可能です。

その他、パネル展示等

・微細シリコン貫通電極用洗浄装置

 減圧チャンバーにより貫通電極の洗浄が行えます。

・その他フォトリソ関連装置

 (塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄)

・インラインミックス式自動スピンエッチング装置

・多段循環式自動スピンエッチング装置

・自動反転機構付きマスク洗浄装置 

・コーターデベロッパー

・ドライフィルム現像装置

・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置

・枚葉式スピン メタルリフトオフ装置

当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。

営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、

仕様決め迄トータルサポートします。

当社ブースへのご来場お待ちしております。


 出展製品

  • 縦型同時両面スクラブ洗浄装置
    新開発の縦型スクラブ構造により ウエハ表裏面を同時に洗浄を行います。 受け入れ洗浄、各種研削・研磨後の洗浄に最適です。 オプションでメガソニックや2流体ノズルも設置可能です。...

  • Siウエハやガラスウエハ他、多種多様なワークに対応

    新開発の縦型スクラブ構造によりウエハ表裏面を同時に洗浄を行います。

    遠心力+重力の組み合わせで、パーティクルを効率良く除去し再付着を防止します。

    受け入れ洗浄、各種研削・研磨後の洗浄、ケミカルが使用出来ないメタル配線後の洗浄など

    マルチに使用可能です。

    オプションでメガソニックや2流体ノズルも設置可能で、洗浄効果を高めることが可能です。

  • 枚葉式スピン洗浄装置
    Kシリーズは新技術、新機能、新ワークへのアップグレードが より簡単・低コストで実現できる拡張型スピン洗浄装置です。 装置導入後の仕様変更もスピード対応します。...

  • 各種ケミカル洗浄、メガソニック洗浄、2流体洗浄、高圧ジェット洗浄など

    様々な洗浄ツールの組み合わせが可能です。

    <用途>

    受け入れ洗浄

    塗布前洗浄

    エッチング、レジスト除去後の洗浄

    CMP後洗浄

    BG後洗浄

    ダイシング後洗浄

    成膜前洗浄

    その他、各種プロセス間の洗浄など幅広い用途に対応します。

  • コーターデベロッパー
    HMDS、スピン塗布、ベーク、クール、スピン現像と処理を行う カセットtoカセットの枚葉式自動スピンコーターデベロッパーです。...

  • ベーパー式 HMDS

    レジスト2系統以上設置可能

    多段式ベーク・クールユニット

    パドル・スプレー現像、リンス、スピン乾燥

    レジストや現像液の温調機能を付けることも可能です。

  • 反転機構付きマスク洗浄装置
    自動反転機構付きでマスク両面を洗浄出来ます。 固着したレジストも除去可能です。 ...

  • SPM(硫酸過水)やAPM(アンモニア過水)を使用し、

    洗剤では落とせないような固着したレジストを除去します。

    物理洗浄機能としてブラシやメガソニックも搭載可能です。

    マスクやレチクルを傷つけることなく両面洗浄します。

  • インラインミックス式自動スピンエッチング装置
    薬液をインラインで自動調合し、常にフレッシュな薬液を供給出来ます。 パドル・スプレーなどによりウェットエッチングを行います。...

  • エッチング液のインラインミックス機能付きスピンエッチャーです。

    <エッチング用途>

    化合物ウエハのエッチング

    Siエッチング

    Auエッチング

    Cuエッチング

    Tiエッチング

    Crエッチング

    Alエッチング

    その他各種メタルエッチングに使用可能です。