東京計装

港区,  東京都 
Japan
https://www.tokyokeiso.co.jp
  • 小間番号8508


半導体製造プロセス・ユーティリティ用の各種流量計測機器をご紹介致します。

 弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計から省エネ・設備効率化のためのユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測機器をご紹介します。
 


 出展製品

  • 流量コントローラ CLFC300
    半導体製造プロセスにおけるCMPスラリー、薬液、超純水等の流量制御に最適...

  • ・超音波流量センサ、コントロールバルブ、流量演算、バルブ制御回路図を一体化
    ・接液部はPFAまたはPTFE、ハウジング材質にはPVDFを採用した高耐食仕様
    ・優れた耐気泡性能と制御機能
     
  • 一体形超音波流量センサ UCF006
    半導体製造プロセスにおける超純水、各種薬液等の流量計測に最適...

  • PFA製流量測定部はストレートパイプ構造で低圧力損失

    ・コンパクト設計で装置組み込みに最適

    ・優れた耐気泡性能

  • パージメータ P-880
    半導体関連ガス機器に適した気体計測用の面積流量計...

  • ・コンパクトで軽量設計

    0.151.5mL/min(nor)から660L/min(nor)までの流量計測が可能

    ・面間寸法は115130145mm3タイプあり用途に応じて選択できる
  • サーマルフローメータ SRT1300
    半導体製造設備のガスライン、空調設備や一般工業プロセスなどの用途に適している...

  • ・メータサイズ101500Aまで標準ラインアップ

    ・メタルシール構造により耐食性に優れている

    ・圧力補正機能付

  • ポータブル超音波流量計 UL6400
    設備立ち上げ時や既設流量計の故障時など一時的な流量計測に役立つ...

  • ・ポータブルタイプなので持ち運びもできる

    ・内蔵バッテリーで約14時間使用可能

    ・クランプオンのため高腐食性液体の流量計測に最適