ウシオ電機

千代田区丸の内,  東京都 
Japan
https://www.ushio.co.jp/jp/
  • 小間番号2565

未来は「光」でおもしろくなる

ウシオは、半導体製造プロセスのイノベーションに「光」で貢献いたします。

■出展内容

1.レジストレスダイレクトパターニング(VUVアライナー・Deep UVアライナー)

2.「光」加熱(ハロゲンヒータ―・フラッシュランプアニール装置・LEDアニール装置)

3.リソグラフィ(大面積一括投影露光装置)

4.硬化・乾燥(紫外線フォトレジスト硬化装置)

5.洗浄・アッシング(エキシマ光照射ユニット)

6.剥離(UVキュアシステム・UV-LED照射ユニット)

7.検査(高出力白色レーザユニット・波長安定/狭帯域化レーザユニット)

8.照度管理(分光放射照度計・紫外線薄型照度計)