共信コミュニケーションズ

品川区,  東京都 
Japan
https://www.kycom.co.jp/
  • 小間番号5664

①「膜厚測定装置」の実機展示を行います。

こちらの膜厚測定装置はエリプソメータとは異なる光学式です。

特長

  • 非破壊非接触で測定可能。
  • 測定時間が短い 数ms
  • 高精度 ±0.4%
  • 高い測定再現性 ±0.07nm(標準偏差)
  • 測定下限 3nm~
  • エリプソメータとは異なり高度な知識不要、測定が容易
  • 低価格

測定対象膜

レジスト、酸化膜、窒化膜、Low-k、シリコンウェーハ厚(Si, SOI)、有機膜、無機膜 など

ベタ膜のみならず、パターニング形成後の微細な箇所の膜厚測定、CMP後などのSiウェーハの厚さムラを高速で測定、In-Situにおけるデポジションレートのモニタリングが可能です。

技術相談会

膜厚測定や自動化などの課題についてご相談を賜ります。ブースでのお試しサンプル測定も可能です。


②「近赤外光放射パターン測定装置」のパネル展示とカタログ配布を行います。

特長

  • 全方位360°最大放射角70°をワンショットで測定、ゴニオメーターが不要
  • 高速測定 0.3ms
  • 角度高分解能 0.05°
  • 波長 940nm(他波長はリクエストにより可)

アプリケーション

  • 自動運転
  • 顔認証
  • ToF (Time of Flight)
  • その他の3Dセンシング

評価対象デバイス例

   LiDAR、DOE、Diffuser、MEMSミラー、VCSEL、近赤外OLED、近赤外レーザ


 出展製品

  • FR-pOrtable
    テーブルトップ膜厚計...

  • 低価格で省スペースな膜厚計です。電源はPCからのUSBケーブルで供給されます。可視光領域を分光測定し約50nm~70μm程度の透明薄膜はこの1台で十分です。

  • FR-pRo
    テーブルトップ膜厚計...

  • FR-pOrtableとは異なり分光波長範囲がUVからNIRまで豊富です。着色膜、数ナノレベルや数百ミクロンなどの極端に薄い厚い膜厚の測定に選択肢が増えます。R&Dはもちろん量産ラインへの取り付けに応用可能です。また成膜装置への取り付けも可能でIn-Situにおける膜のデポジションレートのモニタリングが可能です。

  • FR-Scanner
    自動膜厚マッピング装置 ...

  • スピンコート、バックグラインディング、CMP後の膜厚のムラを高速で測定します。

  • FR-μProbe
    微小領域膜厚測定装置...

  • エッチングなどパターニング形成後の微小・微細なエリアに対して位置決めを行いピンポイントでの膜厚測定が可能です。

  • VCProbe-NIR-STG
    近赤外光の放射パターンとその強度をワンショットで測定...

  • 特長

    • 全方位360°最大放射角70°をワンショットで測定、ゴニオメーターが不要
    • 高速測定 0.3ms
    • 角度高分解能 0.05°
    • 波長 940nm(他波長はリクエストにより可)

    アプリケーション

    • 自動運転
    • 顔認証
    • ToF (Time of Flight)
    • その他の3Dセンシング

    評価対象デバイス例

       LiDAR、DOE、Diffuser、MEMSミラー、VCSEL、近赤外OLED、近赤外レーザ