FST

新宿区,  東京都 
Japan
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  • 小間番号4053

省エネルギー対策チラー : 年間電気量を低減し大幅なコストメリット

半導体工場

200㎜工場 老朽化チラーの置き換えによるコストメリット

300㎜工場 新規チラーに於ける省エネルギー効果及び温度コントロール強化による製造工程安定性

LCD工場、後工程等

ペリクル : 半導体、LCD、PCB等

品質の高いペリクル

第10.5世代向けペリクル (第10.5世代向け新工場量産開始2019年12月~)

PCB向けペリクル

その他 : クリーニング装置、アニール装置、ダイシング装置等