日本カノマックス

■主な特徴

・コンパクトボディ

・リアルタイム測定

・高分解能

・低質量域測定

マルチターンイオン光学系の搭載によりコンパクト化を実現しました。そのため、ラボだけでなく現場に持ち込んで、リアルタイムでの測定を行うことができます。また、マルチターンイオン光学系のイオン多重周回技術により長いイオン飛行距離が可能となり、大型質量分析計と同等の高分解能、精密質量測定が行えます。更に、一般のTOFMSとは違い低質量域の測定を得意としており、水素、ヘリウムのような低質量ガス及びその同位体を精密質量で測定することが可能です。

最先端の半導体製造分野では、UPW中の微粒子に関して、直径10nmレベルの管理が必要となっており、様々な計測や分析手法が開発されています。粒子カウンターでは個数濃度を計測するが、粒子の元素成分の分析のためには捕集することが必要です。半導体の製造プロセスにおいては、UPW中の汚染粒子の成分分析は品質管理上重要な情報となります。NanoSpotLight Systemは、UPW中の汚染粒子のサンプリングと捕集に特化した製品であり、UPW中の5nmの超微小な汚染粒子のサンプリングを、高効率で行えるものです。

■構成品

サンプルを噴霧乾燥させてエアロゾル化するNanoParticle Extractor（NPE）と、慣性力を利用して捕集NanoParticle Collector（NPC）の二つの製品で構成されます。

■構成品

・本品は主に3種類の製品で構成され、液中ナノパーティクルサイザーシステムとなります。

・完全統合システムにより最大の応答性と精度を実現。

・相対的ではなく、直接的に実濃度を測定。

・高分解能の粒径分布測定と（64チャンネル/粒径対数1桁当たり）　5～600nmの広い測定範囲

サンプルの粘度、温度、粒子物性、粒子形状、粒子の表面特性などの影響を受けない測定。

・サンプル粒子を個々に分級し計数。

・最小限のサンプル調整で、高速測定（5分以内）。

・サンプルの導電性の調整が不要。

・溶存残留物がサンプルに干渉する可能性がある、粒径30nm未満のコロイド粒子の測定に理想的。

・長期間の安定稼動が可能。

・粒子間の相互作用の影響を受けません。

・複雑なデータ変換処理やデータ分析は不要。

■主な特徴

・世界初の最小粒径感度10 nmを達成

光散乱法を用いた従来の光学式計測における粒子の屈折率や形状の違いが検出感度に影響を与えるデメリットを払拭するとともに、世界で初めて最小可測粒径10 nm（0.01 μm）を達成しました。

・SEMIガイドライン推奨測定方法と、研究分野第一人者による開発

SEMIガイドラインの推奨測定方法として認定された測定方法です。開発者であるKanomax FMT社のDavid Blackford氏は本エアロゾル関連計測技術の第一人者であり、その革新的な技術でこれまでに各種米国特許を取得および出願中です。

・持ち運びに便利な小型モデル

高精度な計測器でありながら、わずか16.1kgと軽量かつポータブルサイズのため、場所を選ばずに設置できます。さらにメンテナンスも最小限で実施出来るように設計されています。

・測定粒径は10～20 nm間で5 nm毎に設定可能

例えばチャネル10 nm を選択時、粒径10 nm 以上の測定が可能です。（上限100 nm 程度）