■主な特徴
・世界初の最小粒径感度10 nmを達成
光散乱法を用いた従来の光学式計測における粒子の屈折率や形状の違いが検出感度に影響を与えるデメリットを払拭するとともに、世界で初めて最小可測粒径10 nm(0.01 μm)を達成しました。
・SEMIガイドライン推奨測定方法と、研究分野第一人者による開発
SEMIガイドラインの推奨測定方法として認定された測定方法です。開発者であるKanomax FMT社のDavid Blackford氏は本エアロゾル関連計測技術の第一人者であり、その革新的な技術でこれまでに各種米国特許を取得および出願中です。
・持ち運びに便利な小型モデル
高精度な計測器でありながら、わずか16.1kgと軽量かつポータブルサイズのため、場所を選ばずに設置できます。さらにメンテナンスも最小限で実施出来るように設計されています。
・測定粒径は10~20 nm間で5 nm毎に設定可能
例えばチャネル10 nm を選択時、粒径10 nm 以上の測定が可能です。(上限100 nm 程度)